[發(fā)明專利]多層膠片厚度的太赫茲波反射式在線測(cè)量方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810320528.5 | 申請(qǐng)日： | 2018-04-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108592805A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 杭柏林;安昌喜;王孔茂 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 青島萬(wàn)龍智控科技有限公司;青島萬(wàn)龍高新科技集團(tuán)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01B11/06 | 分類(lèi)號(hào)： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 青島中天匯智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37241 | 代理人： | 陳磊 |
| 地址： | 266000 *** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 在線測(cè)量 膠片 多層 太赫茲波 反射式 膠層 發(fā)射裝置 厚度均勻性 測(cè)量對(duì)象 反射特性 高反射性 厚度檢測(cè) 離線測(cè)量 強(qiáng)度變化 現(xiàn)場(chǎng)動(dòng)態(tài) 時(shí)間差 準(zhǔn)確度 反射波 非接觸 無(wú)損傷 折射率 標(biāo)定 測(cè)量 檢測(cè) | ||
1.一種多層膠片厚度的太赫茲波反射式在線測(cè)量方法，其特征在于：在線測(cè)量過(guò)程中，同一組太赫茲波的發(fā)射裝置與接收裝置位于被測(cè)量對(duì)象的同一側(cè)；
利用太赫茲波反射特性，計(jì)算出不同層面反射波到達(dá)的時(shí)間差與強(qiáng)度變化，得出符合以下公式的n層膠片總厚度δ，
所述測(cè)量過(guò)程包括下述實(shí)施步驟，
標(biāo)定每個(gè)膠層的折射率，選取每個(gè)膠層的測(cè)試樣品進(jìn)行太赫茲波測(cè)量以得到時(shí)間差值ΔTi；再使用標(biāo)準(zhǔn)量具測(cè)量出該膠層測(cè)試樣品的實(shí)際厚度δi，帶入下式(12)中得到該膠層測(cè)試樣品的折射率RIi，測(cè)試樣品折射率RIi作為后續(xù)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)在線測(cè)量此類(lèi)膠層厚度的依據(jù)；
在線測(cè)量步驟，構(gòu)成膠片總厚度與每個(gè)膠層厚度的關(guān)系為，δ＝δ1+δ2+…δn，
由發(fā)射裝置發(fā)射太赫茲波，當(dāng)太赫茲波由每個(gè)膠層的上表面反射波和每個(gè)下表面反射波到接收裝置的時(shí)間，可測(cè)得ΔTi，由公式(5)計(jì)算出的每個(gè)膠層樣品的折射率RIi，代入公式(11)中，最終得到多層膠片的總厚度δ。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于青島萬(wàn)龍智控科技有限公司;青島萬(wàn)龍高新科技集團(tuán)有限公司，未經(jīng)青島萬(wàn)龍智控科技有限公司;青島萬(wàn)龍高新科技集團(tuán)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810320528.5/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類(lèi)專利
- 專利分類(lèi)
