[發明專利]一種氣體吸附劑

在審

• 申請號: 201810310693.2
• 申請日: 2018-04-09
• 公開（公告）號: CN108421410A
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 張帥
• 申請（專利權）人: 張帥
• 主分類號: B01D53/86
• 分類號: B01D53/86;B01D53/68;B01D53/46;B01D53/58
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提出了一種氣體吸附劑，包括酸性氣體吸附組分、第一特殊氣體吸附組分和第二特殊氣體吸附組分，本吸附劑通過催化劑，在高溫下與有毒氣體反應，在一定的催化劑作用下這些氣體的熱分解速度加快，從而實現解毒，由于工藝路線較短，并且不產生其它殘留，可直接掩埋，極為環保。

技術領域

本發明涉及吸附材料領域，尤其是涉及一種氣體吸附劑。

背景技術

吸附凈化劑的研發及生產，源于歐美國家在生產制造過程中，尤其是半導體生產和制造領域，生產過程中會產生一些比較特殊的氣體，例如AsH3，PH3等，由于傳統的活性炭吸附及水洗方式吸附過程易發熱、吸附后不穩定、容易二次揮發、仍需要再次處理等問題。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明提出了一種氣體吸附劑，包括酸性氣體吸附組分、第一特殊氣體吸附組分和第二特殊氣體吸附組分。

優選的，所述酸性氣體吸附組分包括以下組成：氫氧化鈣75％-85％、蛭石10％-20％、硅藻土1％-5％、氫氧化鈉0.5％-2，其余量為水。

優選的，所述酸性氣體吸附組分吸附的氣體為：cl2或HCL或HBR或HF或BCl3。

優選的，所述第一特殊氣體吸附組分包括二氧化錳20％-30％、氧化銅40％-50％、五水硫酸銅20％-30％、氧化鐵2％-20％，其余量為水。

優選的，所述第一特殊氣體吸附組分吸附的氣體為SiH4或NH3或PH3或ASH3。

優選的，所述第二特殊氣體吸附組分為三氟化硼10％-30％、八水氫氧化鋇8％-30％、氫氧化鍶30％-40％、氫氧化鈣10％-20％、氫氧化鈣5％-10％、氧化鐵2％-7％、顏料黃5％-20％、氫氧化鈉1％-5％。

優選的，所述第二特殊氣體吸附組分吸附的氣體為：BF3或HF。

本發明提出的氣體吸附劑有以下有益效果：本吸附劑通過催化劑，在高溫下與有毒氣體反應，在一定的催化劑作用下這些氣體的熱分解速度加快，從而實現解毒，由于工藝路線較短，并且不產生其它殘留，可直接掩埋，極為環保。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。

實施例1

本發明提出了一種氣體吸附劑，包括酸性氣體吸附組分、第一特殊氣體吸附組分和第二特殊氣體吸附組分，其中的所述酸性氣體吸附組分包括以下組成：氫氧化鈣75％、蛭石10％、硅藻土1％、氫氧化鈉0.5％，其余量為水。所述酸性氣體吸附組分吸附的氣體為：cl2或HCL或HBR或HF或BCl3。

所述第一特殊氣體吸附組分包括二氧化錳20％、氧化銅40％、五水硫酸銅20％、氧化鐵2％，其余量為水。所述第一特殊氣體吸附組分吸附的氣體為SiH4或NH3或PH3或ASH3。

所述第二特殊氣體吸附組分為三氟化硼10％、八水氫氧化鋇8％、氫氧化鍶30％、氫氧化鈣10％、氫氧化鈣5％、氧化鐵2％、顏料黃6％、氫氧化鈉1％，其余為水。優選的，所述第二特殊氣體吸附組分吸附的氣體為：BF3或HF。

實施例2

本發明提出了一種氣體吸附劑，包括酸性氣體吸附組分、第一特殊氣體吸附組分和第二特殊氣體吸附組分，所述酸性氣體吸附組分包括以下組成：氫氧化鈣80％、蛭石10％、硅藻土4％、氫氧化鈉2％，其余量為水，所述酸性氣體吸附組分吸附的氣體為：cl2或HCL或HBR或HF或BCl3。

所述第一特殊氣體吸附組分包括二氧化錳20％、氧化銅40％、五水硫酸銅30％、氧化鐵5％，其余量為水，所述第一特殊氣體吸附組分吸附的氣體為SiH4或NH3或PH3或ASH3。