[發(fā)明專利]柔性陣列基板及其制備方法和柔性顯示面板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810310471.0
• 申請日: 2018-04-09
• 公開（公告）號: CN108461531B
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設計）人: 李小龍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

1.一種柔性陣列基板，其特征在于，包括數(shù)個依次排列的像素島區(qū)域，相鄰像素島區(qū)域之間設置有柔性區(qū)域；所述像素島區(qū)域包括柵電極，所述柔性區(qū)域包括第一彈性層，所述第一彈性層上設置有第一連接線，所述第一連接線上設置有第二彈性層，所述第二彈性層上設置有第二連接線，所述第二彈性層上設置有多個層間過孔，各所述層間過孔內均設置有彈性導電柱，各所述彈性導電柱分別與所述第一連接線和所述第二連接線導電連接，所述第一連接線和/或所述第二連接線與相鄰像素島區(qū)域的所述柵電極連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的柔性陣列基板，其特征在于，形成所述第一彈性層及所述第二彈性層的材料包括聚酰亞胺。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的柔性陣列基板，其特征在于，形成所述第一連接線、所述第二連接線的材料包括導電聚合物或金屬；形成所述彈性導電柱的材料包括導電聚合物。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的柔性陣列基板，其特征在于，在平行于所述柔性陣列基板的投影面上，所述第一連接線及所述第二連接線的形狀為S形、U形或正弦曲線形。

5.一種柔性陣列基板的制備方法，其特征在于，包括：

在數(shù)個依次排列的像素島區(qū)域形成有柵電極；

在相鄰像素島區(qū)域之間的柔性區(qū)域形成第一彈性層，在所述第一彈性層上形成第一連接線，在所述第一連接線上形成第二彈性層，在所述第二彈性層上形成多個層間過孔，在各所述層間過孔內均形成彈性導電柱，在所述第二彈性層上形成第二連接線，各所述彈性導電柱分別與所述第一連接線和所述第二連接線導電連接，所述第一連接線和/或所述第二連接線與相鄰像素島區(qū)域的所述柵電極連接。

6.根據(jù)權利要求5所述的制備方法，其特征在于，在數(shù)個依次排列的像素島區(qū)域形成有柵電極，具體包括：

在柔性襯底上依次形成有源層、柵絕緣層和柵電極；

通過構圖工藝形成層間絕緣層，位于像素島區(qū)域的層間絕緣層開設有第一過孔，位于相鄰像素島區(qū)域之間的柔性區(qū)域開設有柔性過槽，所述柔性過槽暴露出柔性襯底。

7.根據(jù)權利要求6所述的制備方法，其特征在于，在相鄰像素島區(qū)域之間的柔性區(qū)域形成第一彈性層，在所述第一彈性層上形成第一連接線，在所述第一連接線上形成第二彈性層，在所述第二彈性層上形成多個層間過孔，在各所述層間過孔內均形成彈性導電柱，在所述第二彈性層上形成第二連接線，各所述彈性導電柱分別與所述第一連接線和所述第二連接線導電連接，所述第一連接線和/或所述第二連接線與相鄰像素島區(qū)域的所述柵電極連接，具體包括：

涂覆第一聚酰亞胺光刻膠，所述第一聚酰亞胺光刻膠覆蓋層間絕緣層及所述柔性過槽暴露出的柔性襯底，對所述第一聚酰亞胺光刻膠進行曝光并顯影，在柔性區(qū)域形成完全曝光區(qū)，去除像素島區(qū)域的所述第一聚酰亞胺光刻膠，形成位于柔性襯底上的第一彈性層；

在所述第一彈性層上形成第一導電層，并對所述第一導電層進行圖形化形成所述第一連接線；

在所述第一連接線上涂覆第二聚酰亞胺光刻膠，所述第二聚酰亞胺光刻膠覆蓋層間絕緣層及所述第一彈性層，對所述第二聚酰亞胺光刻膠進行曝光并顯影，在柔性區(qū)域除層間過孔區(qū)域外形成完全曝光區(qū)，去除像素島區(qū)域及層間過孔區(qū)域的所述第二聚酰亞胺光刻膠，形成第二彈性層；

在各所述層間過孔內均形成彈性導電柱；

在所述第二彈性層上形成第二導電層，并對所述第二導電層進行圖形化形成所述第二連接線；

所述第一連接線和/或所述第二連接線通過相鄰像素島區(qū)域的第一過孔與柵電極連接。

8.根據(jù)權利要求7所述的制備方法，其特征在于，形成所述彈性導電柱的材料包括導電聚合物。

9.根據(jù)權利要求5-8任一項所述的制備方法，其特征在于，在平行于所述柔性陣列基板的投影面上，所述第一連接線及所述第二連接線的形狀為S形、U形或正弦曲線形。

10.一種柔性顯示面板，其特征在于，包括如權利要求1～4任一所述的柔性陣列基板。