[發明專利]一種磁電復合薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 201810308631.8 | 申請日： | 2018-04-09 |
| 公開（公告）號： | CN108428791A | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發明（設計）人： | 高坤 | 申請（專利權）人： | 徐州通用高新磁電有限公司 |
| 主分類號： | H01L43/12 | 分類號： | H01L43/12 |
| 代理公司： | 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616 | 代理人： | 曾龍 |
| 地址： | 221000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 磁電復合 加熱攪拌 乙二醇單甲醚 鈦酸四丁酯 硬脂酸 薄膜 多孔氧化鋁模板 陽極氧化法制 反鐵電陶瓷 混合溶液中 薄膜材料 垂直排列 化學試劑 納米孔徑 鐵電材料 原料制備 鋇離子 氯化鋇 溶液滴 鐵電層 錫酸鉛 鈦離子 鋯鈦 無毒 污染 制造 | ||
【權利要求書】：
1.一種磁電復合材料的制備方法，其特征在于，制造方法包括如下步驟：
步驟一：研磨拋光并清硅基片，備用；所述研磨拋光，可將襯底先在600目的金剛石砂輪盤上進行粗磨10min；
步驟二：采用兩步陽極氧化法制備具有納米孔徑且有序垂直排列的多孔氧化鋁模板；
步驟三：利用氯化鋇、硬脂酸、鈦酸四丁酯、乙二醇單甲醚化學試劑為原料制備BTO溶膠，將氯化鋇溶于冰醋酸，80℃加熱攪拌；
步驟四：將鈦酸四丁酯溶于乙二醇單甲醚中，加熱攪拌；將含鈦離子的溶液滴入含鋇離子的溶液中，繼續80℃加熱攪拌；將一定量的硬脂酸加入到上述混合溶液中加熱攪拌；
步驟五：然后將溫度降低至20℃，用激光轟擊鋯鈦酸鉛靶材使得沉積厚度為6nm，在基板上依次沉積鑭鈣錳氧和鋯鈦酸鉛緩沖層。
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