[發明專利]TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法

有效

• 申請號: 201810307635.4
• 申請日: 2018-04-08
• 公開（公告）號: CN108417681B
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 蔡齊航;莊翌圣;巫永仁
• 申請（專利權）人: 宜特（上海）檢測技術有限公司
• 主分類號: H01L33/16
• 分類號: H01L33/16;H01L33/00;H01L21/86
• 代理公司: 上海唯源專利代理有限公司 31229
• 代理人: 曾耀先

1.一種TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，包括步驟：

將LED試樣放置于DB-FIB機臺上，獲取所述LED試樣中藍寶石襯底的俯視圖，所述俯視圖中密布有圖形化藍寶石結構；

以相鄰三個圖形化藍寶石結構的連線作為六邊形的一條邊，于所述俯視圖上連線形成一六邊形；以及

將所述六邊形中相間位的兩個角進行連線，令得到的連線方向作為所述LED試樣的待切片的晶格方向；

其中，所述六邊形的每條邊經過三個圖形化藍寶石結構，該三個圖形化藍寶石結構分別為該條邊的起點、中點、終點，六邊形的每條邊長度相等，六邊形的每個內角為120°，所述晶格方向為晶格方向。

2.如權利要求1所述的TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，在將LED試樣放置于DB-FIB機臺上之前，還包括步驟：觀察LED試樣是否具有藍寶石襯底；并且，在確認所述LED試樣具有所述藍寶石襯底后，將所述LED試樣放置于DB-FIB機臺上。

3.如權利要求2所述的TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，利用金相顯微鏡觀察所述LED試樣是否具有藍寶石襯底。

4.如權利要求1所述的TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，利用所述DB-FIB機臺中的掃描式電子顯微鏡獲取所述LED試片中藍寶石襯底的俯視圖。

5.如權利要求1所述的TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，于所述俯視圖上連線形成所述六邊形的步驟，包括：

(a)取所述俯視圖中的一圖形化藍寶石結構作為六邊形的第一條邊的起點；

(b)在第一方向上，從所述第一條邊的起點開始，取與所述第一條邊的起點依次相鄰的兩個圖形化藍寶石結構，分別作為所述第一條邊的中點和終點，所述起點、所述中點和所述終點位于一直線上，所述中點位于所述起點和所述終點之間；

(c)將所述第一條邊的所述起點、所述中點和所述終點連線成一直線，構成所述第一條邊；

(d)變換一方向，以所述第一條邊的起點作為六邊形的第二條邊的起點，取與所述第二條邊的起點依次相鄰的兩個圖形化藍寶石結構，分別作為所述第二條邊的中點和終點；

(e)將所述第二條邊的所述起點、所述中點和所述終點連線成一直線，構成所述第二條邊；

(f)變換另一方向，以所述第一條邊的終點作為六邊形的第三條邊的起點，取與所述第三條邊的起點依次相鄰的兩個圖形化藍寶石結構，分別作為所述第三條邊的中點和終點；

(g)將所述第三條邊的所述起點、所述中點和所述終點連線成一直線，構成所述第三條邊；

(h)變換再一方向，以所述第二條邊的終點作為六邊形的第四條邊的起點，重復步驟(f)和(g)，選取所述第四條邊的中點和終點，并連線構成所述第四條邊；

(i)變換再一方向，以所述第三條邊的終點作為六邊形的第五條邊的起點，重復步驟(f)和(g)，選取所述第五條邊的中點和終點，并連線構成所述第五條邊；

(j)連線所述第四條邊的終點和所述第五條邊的終點，構成六邊形的第六條邊，且令所述第六條邊經過一圖形化藍寶石結構。

6.如權利要求5所述的TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，所述六邊形中相間位的兩個角的組合形式包括：

所述第一條邊的起點和所述第四條邊的終點；

所述第一條邊的起點和所述第三條邊的終點；

所述第一條邊的終點和所述第二條邊的終點；

所述第一條邊的終點和所述第五條邊的終點；

所述第二條邊的終點和所述第五條邊的終點；或者

所述第三條邊的終點和所述第四條邊的終點。

7.如權利要求1所述的TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，所述六邊形中相間位的兩個角的連線經過一圖形化藍寶石結構。

8.如權利要求1所述的TEM藍寶石襯底LED試樣晶格方向的確認方法，其特征在于，所述確認方法還包括：預先根據TEM拍攝影像特點，分析得到LED試樣在TEM中擷取到最佳拍攝影像的晶格方向，并且，經所述確認方法得到的所述LED試樣的待切片的晶格方向與預先分析得到的TEM中擷取到最佳拍攝影像的晶格方向相一致。