[發明專利]一種以制冷機為冷源耦合固定點的溫度標定系統在審
| 申請號： | 201810307454.1 | 申請日： | 2018-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN108318157A | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發明（設計）人： | 高波;張海洋;羅二倉;陳燕燕;潘長釗;陳慧 | 申請（專利權）人： | 中國科學院理化技術研究所 |
| 主分類號： | G01K19/00 | 分類號： | G01K19/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩;吳歡燕 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微波諧振腔 制冷機 溫度標定系統 密閉空間 耦合固定 冷源 固定點部件 補償環路 測溫裝置 復現裝置 量值傳遞 時間成本 實驗成本 溫度測量 溫度漂移 壓力環境 熱開關 微流量 相耦合 諧振腔 測溫 分度 復現 冷頭 熱容 環節 | ||
1.一種以制冷機為冷源耦合固定點的溫度標定系統，其包括：制冷機，其具有至少兩個冷頭；至少一密閉空間，起到熱開關的作用；其特征在于：在所述密閉空間中設置有微波諧振腔，微流量補償環路為所述微波諧振腔提供穩定的壓力環境，在所述微波諧振腔內設置有固定點部件。
2.如權利要求1所述的溫度標定系統，其特征在于：所述固定點部件通過耦合連接件與微波諧振腔相連接。
3.如權利要求2所述的溫度標定系統，其特征在于：所述耦合連接件采用圓柱體、長方體、或多面體等結構。
4.如權利要求2所述的溫度標定系統，其特征在于：所述固定點部件包含多個固定點復現單元。
5.如權利要求2所述的溫度標定系統，其特征在于：所述熱開關的工作介質為氦氣、氖氣、氬氣、或氮氣等氣體。
6.如權利要求1所述的溫度標定系統，其特征在于：所述至少一密閉空間包括第一密閉空間和第二密閉空間。
7.如權利要求6所述的溫度標定系統，其特征在于：零級法蘭、中空復合真空罩的內表面、二級法蘭和獨立真空筒的外表面組成所述第一密閉空間。
8.如權利要求6所述的溫度標定系統，其特征在于：獨立真空筒與二級法蘭構成所述第二密閉空間。
9.如權利要求8所述的溫度標定系統，其特征在于：在所述第二密閉空間內包括壓力腔，所述微波諧振腔位于所述壓力腔內。
10.如權利要求9所述的溫度標定系統，其特征在于：所述微波諧振腔采用準球形、圓柱形、或多面體等幾何結構；所述微波諧振腔的腔體材料為高導無氧銅等金屬材料、或藍寶石等非金屬材料、或超導材料等固體材料；或者上述材料組成的復合材料。
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