[發(fā)明專利]一種基于劈尖干涉的垂直振動位移檢測裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810301735.6 | 申請日： | 2018-04-04 |
| 公開（公告）號： | CN108317959A | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉菲菲 | 申請（專利權(quán)）人： | 孝感銳創(chuàng)機(jī)械科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02;G01H9/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京匯信合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11335 | 代理人： | 王秀麗 |
| 地址： | 432100 湖北省孝感市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 劈尖 垂直振動 底板 位移檢測裝置 半反半透鏡 數(shù)據(jù)處理機(jī) 干涉條紋 干涉裝置 振動頻率 振動位移 精密測量領(lǐng)域 單色點(diǎn)光源 垂直支桿 傾斜支桿 實時變化 實時拍攝 信號處理 準(zhǔn)直透鏡 夾角為 有效地 質(zhì)量塊 干涉 彈簧 響應(yīng) 檢測 | ||
1.一種基于劈尖干涉的垂直振動位移檢測裝置，其特征在于：包括單色點(diǎn)光源、準(zhǔn)直透鏡、第一半反半透鏡、第二半反半透鏡、傾斜支桿、底板、垂直支桿、質(zhì)量塊、彈簧、CCD相機(jī)、數(shù)據(jù)處理機(jī)。
所述單色點(diǎn)光源產(chǎn)生一束激光，波長在380nm至769nm的可見光光譜范圍內(nèi)。
所述準(zhǔn)直透鏡鏡單色點(diǎn)光源產(chǎn)生的發(fā)散激光經(jīng)過準(zhǔn)直為平行光束。
所述第一半反半透鏡與第二半反半透鏡構(gòu)成夾角為θ的劈尖干涉裝置，平行光束以與第二半反半透鏡法線方向經(jīng)過劈尖干涉裝置后，在第一半反半透鏡下表面形成明暗相間的劈尖干涉條紋。
所述CCD相機(jī)實時拍攝在第一半反半透鏡下表面形成明暗相間的劈尖干涉條紋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于劈尖干涉的垂直振動位移檢測裝置，其特征在于：所述底板在垂直方向產(chǎn)生位移，劈尖干涉裝置整體發(fā)生位移，由于質(zhì)量塊的慣性，在劈尖干涉裝置整體移動時，質(zhì)量塊保持相對靜止，使得質(zhì)量塊與底板發(fā)生相對位移，從而將平臺的位移經(jīng)彈簧傳遞給質(zhì)量塊，使劈尖干涉裝置的夾角發(fā)生變化，從而使得在第一半反半透鏡下表面形成明暗相間的劈尖干涉條紋間距發(fā)生變化。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于劈尖干涉的垂直振動位移檢測裝置，其特征在于：所述數(shù)據(jù)處理機(jī)接收CCD相機(jī)實時拍攝的干涉條紋，對信號處理得到干涉條紋間距實時變化情況，從而得到底板在垂直方向產(chǎn)生的振動位移的大小及振動頻率。
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