[發(fā)明專利]液晶調(diào)諧等離激元誘導透明與法布里腔雜化模式的濾波器有效

申請?zhí)枺?/td>	201810296566.1	申請日：	2018-03-30
公開（公告）號：	CN108594502B	公開（公告）日：	2020-10-27
發(fā)明（設計）人：	劉菲;任廣軍;李董;薛力芳;張楷亮	申請（專利權）人：	天津理工大學
主分類號：	G02F1/1333	分類號：	G02F1/1333
代理公司：	天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201	代理人：	程毓英
地址：	300384 ***	國省代碼：	天津;12
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摘要：
搜索關鍵詞：	液晶調(diào)諧離激元誘導透明法布里腔雜化模式濾波器
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【權利要求書】：

1.一種液晶調(diào)諧等離激元誘導透明與法布里-珀羅腔雜化模式的濾波器，包括兩片各覆蓋一層氧化銦錫ITO膜的玻璃，以及組裝在兩片玻璃之間的液晶，其特征在于，液晶厚度為1μm，兩層ITO膜分別稱為T1膜和T2膜，T1膜的膜厚為T1=970nm；在T1膜與下層玻璃之間還鍍有厚度50 nm的Au膜；在T1膜上制作有周期性排布的金屬-電介質(zhì)-金屬型MIM納米棒陣列；沿MIM納米棒長軸方向周期為500 nm，沿其短軸方向周期為300 nm，每個MIM納米棒單元的材料為Au-SiO2-Au，MIM納米棒長度為125 nm，寬度為50 nm，上下兩層Au厚度分別為30nm，中間SiO2厚度為20 nm。

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