[發明專利]具有可變空氣遞送的空氣軸承

在審

• 申請號: 201810295233.7
• 申請日: 2018-03-30
• 公開（公告）號: CN108691895A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: M.蘭馬克;S.斯特勞斯;W.斯特勞斯;R.科赫;C.波格利奇;H.霍夫曼;N.澤勒
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司工業測量技術有限公司
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;G01B21/04
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

提出了一種可移動地支承至少兩個元件的空氣軸承(120)。空氣軸承(120)包括具有至少一個第一空氣流出通道(130)和至少一個第二空氣流出通道(132)的至少一個軸承主體(128)。第一空氣流出通道(130)可經由至少一個第一空氣遞送裝置(134)被供給空氣。第二空氣流出通道(132)可經由至少一個第二空氣遞送裝置(136)供給由空氣。

技術領域

本發明涉及空氣軸承，特別是用于坐標測量機的空氣軸承以及坐標測量機。

背景技術

由現有技術已知用于引導機床或測量機的各種流體壓力軸承，測量機例如為用于測量工件的坐標測量機。用空氣軸承引導期間，相互可移動的元件(例如在三維空間中移動坐標測量機的傳感器的兩個部件)安裝為由氣隙彼此分開。通過將空氣遞送到空氣軸承中的空氣靜力軸承是已知的。

這樣的解決方案可使工件的測量得到精確的測量結果。空氣軸承可通過近似無摩擦和高剛度而促使高精度和超高精度引導。空氣軸承可配置為補償短周期或局部發生的引導誤差，從而，與諸如滾筒軸承的其他類型的軸承相比，可實現更加均勻的運行。

原則上，已經知曉了性能參數不同的各種類型的空氣軸承，性能參數例如為空氣消耗量、軸承振動和取決于施加的力的升起行為。根據作為相應的用途(例如不同的載荷情景)的函數的單獨性能參數的權重，空氣軸承類型可能是有利的或不利的。因此，在采用空氣軸承形式時，在不同的載荷情景下，可能存在剛度不足或甚至空氣軸承的失效。

發明內容

因此，本發明的目標是提供至少實質上避免已知系統缺點的空氣軸承和坐標測量機。特別地，允許適合于載荷情景的剛度。

這樣的目標通過直線導軌和具有獨立權利要求的特征的坐標測量機而實現。可單獨或組合實現的優選方案呈現在從屬權利要求中。

在下文，術語“展現”、“具有”、“包括”或“包含”或從其而來的任何語法偏差以非排他方式使用。相應地，這些術語可以指除了由這些術語引入的特征外不存在其他特征的情形，或者存在一個或多個其他特征的情形。例如，語句A展現B、A具有B、A包括B或A包含B可能是指如下兩種情形，A中沒有提供除了B外的其他元件(就是說，A排他地由B組成)的情況，以及A中提供除了B外一個或多個其他元件(例如元件C、元件C和D、或甚至其他元件)的情況。

此外，應指出的是，術語“至少一個”和“一個或多個”以及這些術語或類似術語的語法修改，如果它們與一個或多個元件或特征結合使用且旨在表達該元件或特征可提供單個或多個的情況，則通常僅用一次，例如在特征或元件第一次引入時。當隨后再一次提及該特征或元件時，對應的術語“至少一個”或“一個或多個”通常不再使用，而不限制該特征或元件可提供一個或多個的可能性。

此外，在下文，與可選的特征結合使用了術語“優選地”、“特別是”、“作為示例”或類似的術語，而不由此限制替代實施例。就此而言，由這些術語引入的特征是可選的特征，而不意圖由這些特征限制權利要求的保護范圍，特別是獨立權利要求的保護范圍。就此而言，本領域的技術人員將認識到，本發明也可采用那個其他的配置來實施。類似地，“本發明的一個實施例中”或“本發明的一個示例性實施例中”引入的特征應理解為可選的特征，而這不意圖限制替代改進或獨立權利要求的保護范圍。此外，這些介紹性表達引入的特征與其他特征結合的全部可能性，無論是可選的特征或非可選的特征，都旨在保持不受所述介紹性表達的影響。

在本發明的第一方面中，提出了用于可移動地支承至少兩個元件的空氣軸承。空氣軸承可理解為一種引導元件，其原則上為任何所希望的形狀且配置為借助于空氣(特別是壓縮空氣)來相對于第二元件(例如，坐標測量機的第二部件，例如板狀基座體)移動第一元件(例如，坐標測量機的部件，特別是坐標測量機的門架和/或門架的柱)。氣隙可布置在第一元件和第二元件之間。例如，第一元件可設在空氣軸承上，并且氣隙可布置在空氣軸承和第二元件之間。