[發明專利]薄片晶圓加工用的裝夾載臺及機床

有效

• 申請號: 201810294068.3
• 申請日: 2018-04-03
• 公開（公告）號: CN108527042B
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 韓賽
• 申請（專利權）人: 泉州臺商投資區镕逸科技有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B1/00;B24B55/00;B24B57/02
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本發明公開了一種薄片晶圓加工用的裝夾載臺，它包括槽體，槽體內設有磁流變液，所述槽體的底部設有用于驅使磁流變液固化或復位至呈流體狀態的勵磁裝置，所述槽體上設有輸紙機構，所述輸紙機構朝槽體內周期性供給單張紙片，所述紙片漂浮于磁流變液的液面上，所述槽體上遠離輸紙機構的另一側設有抽紙機構，當待加工的晶圓擱置于紙片上時所述抽紙機構抽取紙片以使得所述紙片從晶圓和磁流變液的液面之間抽離。本發明提供一種薄片晶圓加工用的裝夾載臺，其無需載片晶圓即可對功能晶圓進行固定，且功能晶圓的強度高，加工過程中碎片率低，最終產品的合格率高。

技術領域

本發明涉及晶圓加工的技術領域，具體地是一種薄片晶圓加工用的裝夾載臺及機床。

背景技術

片狀晶圓尤其是厚度小于5mm的薄片晶圓，其在進行加工的過程中往往需要先臨時鍵合在一個載片晶圓上，從而提高功能晶圓的強度，以便于進行加工處理，例如減薄打磨、蝕刻、切割等，最后將功能晶圓與載片晶圓進行分離，完成功能晶圓的加工。

不難看出，這一現有技術雖然可以較好的解決薄片晶圓強度不足易碎的技術問題，但是其額外的增加了載片晶圓，不僅增加了工序，降低了生產效率，而且載片晶圓較多的采用工程塑料板，在功能晶圓完成切割后直接報廢處理，因此上述的載片晶圓作為一次性消耗品顯然會導致加工成本上升，不以利于大規模生產的普及。

另外，現有技術中也有可以多次回收利用的載片晶圓，但是現有技術的功能晶圓在去除鍵合膠等工序的過程中往往會使用到清洗劑，因此此類可多次使用的載片晶圓其使用次數也存在極大的限制，因此同樣存在加工成本偏高的問題。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的第一個技術問題：提供一種薄片晶圓加工用的裝夾載臺，其無需載片晶圓即可對功能晶圓進行固定，且功能晶圓的強度高，加工過程中碎片率低，最終產品的合格率高。

本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的第二個技術問題：提供一種薄片晶圓加工用的機床，其專用于晶圓的加工，且加工過程中晶圓碎片率低，最終產品的合格率高。

為此，本發明的一個目的在于針對上述第一個技術問題提出一種薄片晶圓加工用的裝夾載臺，包括槽體，槽體內設有磁流變液，所述槽體的底部設有用于驅使磁流變液固化或復位至呈流體狀態的勵磁裝置，所述槽體上設有輸紙機構，所述輸紙機構朝槽體內周期性供給單張紙片，所述紙片漂浮于磁流變液的液面上，所述槽體上遠離輸紙機構的另一側設有抽紙機構，當待加工的晶圓擱置于紙片上時所述抽紙機構抽取紙片以使得所述紙片從晶圓和磁流變液的液面之間抽離。通過紙片可以將晶圓與磁流變液之間的氣泡去除，從而利用磁流變液的表面張力使得晶圓漂浮于磁流變液的液面上，同時由于晶圓本身的重量會使得磁流變液的液面下凹形成一凹槽，當磁流變液受到勵磁裝置的磁場作用而固化時所述晶圓恰好限位于上述的凹槽內，因此上述固化后的磁流變液不僅可以很好的支撐晶圓，使得晶圓可以完成減薄加工處理，而且，當撤銷磁場后通過吸盤即可取出晶圓，因此全程無需額外的設置載片晶圓，同時全程只消耗紙張，因此不存在額外的一次性消耗品，其加工的成本低。

根據本發明的一個示例，所述的輸紙機構包括驅動輥組和用于切斷紙張的切刀組件，所述驅動輥組夾持長條形紙張且驅使長條形紙張沿自身長度方向移動，所述切刀組件設于槽體上且位于驅動輥組與槽體之間，所述長條形紙張經切刀組件剪切形成若干片狀的紙片，且各紙片依序漂浮于槽體內的磁流變液的液面上。

根據本發明的一個示例，所述槽體上設有噴嘴，所述噴嘴位于切刀組件靠近槽體內腔的一側，所述切刀組件剪切形成的紙片經噴嘴噴淋后漂浮于磁流變液的液面上。通過噴嘴潤濕紙片，可以更有利于紙片抽離時消除晶圓與磁流變液之間的氣泡，當噴嘴噴出的液體為液態的鍵合膠時所述紙片抽離后殘留在磁流變液與晶圓之間的鍵合膠固化后可以進一步的提高晶圓的牢固度。