[發(fā)明專(zhuān)利]一種激光切割方法及激光切割系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810294061.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110340539A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫杰;林圓圓;宋春峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/38
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/38;B23K26/70
• 代理公司: 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種激光切割方法，其特征在于，包括：

獲取待切割工件的實(shí)際厚度；

根據(jù)所述待切割工件的實(shí)際厚度，判斷是否調(diào)整預(yù)設(shè)切割工藝參數(shù)；

若是，則根據(jù)所述待切割工件的實(shí)際厚度、激光切割方式和切割光束類(lèi)型對(duì)激光切割時(shí)的工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，并使用調(diào)整后工藝參數(shù)的激光進(jìn)行激光切割；

若否，則使用所述預(yù)設(shè)切割工藝參數(shù)的激光進(jìn)行激光切割。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述獲取待切割工件的實(shí)際厚度之后還包括：

判斷所述實(shí)際厚度是否在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)；

若在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，則直接根據(jù)預(yù)設(shè)的工藝參數(shù)進(jìn)行激光切割；

若不在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，則根據(jù)待切割工件的實(shí)際厚度與預(yù)設(shè)厚度的差值或比例，以及激光切割方式和切割光束類(lèi)型對(duì)激光切割時(shí)的工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光切割方式為改性切割，所述切割光束類(lèi)型為貝塞爾光束時(shí)，所述根據(jù)待切割工件的實(shí)際厚度、激光切割方式和切割光束類(lèi)型對(duì)激光切割時(shí)的工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整包括：

對(duì)切割光束焦深和待切割工件的垂向位置進(jìn)行調(diào)整。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述激光切割方式為改性切割，所述切割光束類(lèi)型為貝塞爾光束時(shí)，所述根據(jù)待切割工件的實(shí)際厚度、激光切割方式和切割光束類(lèi)型對(duì)激光切割時(shí)的工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整還包括：

對(duì)切割光束能量進(jìn)行調(diào)整。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述切割光束為激光光束經(jīng)擴(kuò)束鏡進(jìn)行準(zhǔn)直擴(kuò)束后，經(jīng)光束整形元件進(jìn)行整形處理得到的光束，所述光束整形元件整形得到的切割光束的焦深與所述準(zhǔn)直擴(kuò)束后的激光光束的直徑成正比例關(guān)系，所述對(duì)切割光束焦深進(jìn)行調(diào)整包括：

根據(jù)如下公式獲取所述切割光束的實(shí)際焦深Lbr：

其中，Lbs為切割光束的第一預(yù)設(shè)焦深，Tr為待切割工件的實(shí)際厚度，Tbs為待切割工件的第一預(yù)設(shè)厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述對(duì)待切割工件的垂向位置進(jìn)行調(diào)整包括：

根據(jù)如下公式獲取所述待切割工件的實(shí)際垂向位置Zbr：

其中，Zbs為待切割工件的第一預(yù)設(shè)垂向位置，Tr為待切割工件的實(shí)際厚度，Tbs為待切割工件的第一預(yù)設(shè)厚度。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述對(duì)切割光束能量進(jìn)行調(diào)整包括：

根據(jù)如下公式獲取所述切割光束的實(shí)際能量Pbr：

其中，Pbs為切割光束的預(yù)設(shè)能量，Tr為待切割工件的實(shí)際厚度，Tbs為待切割工件的第一預(yù)設(shè)厚度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光切割方式為改性切割，所述切割光束類(lèi)型為高斯光束時(shí)，所述根據(jù)待切割工件的實(shí)際厚度、激光切割方式和切割光束類(lèi)型對(duì)激光切割時(shí)的工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整包括：

對(duì)激光切割時(shí)的步進(jìn)次數(shù)進(jìn)行調(diào)整。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述對(duì)激光切割時(shí)的步進(jìn)次數(shù)進(jìn)行調(diào)整包括：

根據(jù)如下公式獲取實(shí)際步進(jìn)次數(shù)Ngr：

其中，Ngs為激光切割時(shí)的預(yù)設(shè)步進(jìn)次數(shù)，int函數(shù)代表將數(shù)字向下舍入到最接近的整數(shù)，Tgs為待切割工件的第二預(yù)設(shè)厚度，Tr為待切割工件的實(shí)際厚度，Lgs為切割光束的第二預(yù)設(shè)焦深。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光切割方式為燒蝕切割，所述切割光束類(lèi)型為高斯光束時(shí)，所述根據(jù)待切割工件的實(shí)際厚度、激光切割方式和切割光束類(lèi)型對(duì)激光切割時(shí)的工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整包括：

對(duì)激光切割時(shí)的步進(jìn)次數(shù)和垂向初始位置進(jìn)行調(diào)整。