[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于掃描探針顯微鏡的傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810293827.4
• 申請日: 2018-03-30
• 公開（公告）號: CN108761138B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭平;蘭永強
• 申請（專利權(quán)）人: 三明學(xué)院
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00
• 代理公司: 廈門智慧呈睿知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 35222
• 代理人: 郭福利;魏思凡

1.一種應(yīng)用于掃描探針顯微鏡的傳感器，其特征在于，包含：底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上側(cè)的絕緣承載層(2)、位于絕緣承載層(2)上的第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)、以及探針(5)；第一石英晶振(3)的第一叉腳(6)和第一石英晶振(3)的第二叉腳(7)上下相對配置，第二石英晶振(4)的第一叉腳(8)和第二石英晶振(4)的第二叉腳(9)左右相對配置；第一石英晶振(3)的第二叉腳(7)配置于絕緣承載層(2)上，第二石英晶振(4)的基座部配置于第一石英晶振(3)的第一叉腳(6)上，探針(5)配置于第二石英晶振(4)的第一叉腳(8)上；第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)兩者的諧振頻率不同，且第一石英晶振(3)的兩接線端分別對應(yīng)電連接于第二石英晶振(4)的兩接線端；

所述底座(1)為長方體，且其上側(cè)開設(shè)有凹槽(1A)，所述凹槽(1A)自底座(1)的一側(cè)部向與該一側(cè)部相對的另一側(cè)部延伸，且所述凹槽(1A)的延伸方向與第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)兩者各叉腳的延伸方向相同；所述絕緣承載層(2)位于所述凹槽(1A)上側(cè)；所述凹槽(1A)為截面為V型狀的凹槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述凹槽(1A)的深度為2mm至4mm，所述凹槽(1A)寬度為1mm至3mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)不處于凹槽(1A)的正上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第一石英晶振(3)為無源石英晶振，且其諧振頻率為20kHz至100kHz；所述第二石英晶振(4)為無源石英晶振，且其諧振頻率為100kHz至200kHz。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第二石英晶振(4)通過玻璃漿料(10)焊接于所述第一石英晶振(3)的第一叉腳(6)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述探針(5)為鎢探針、鉑銥合金探針、碳纖維探針或金探針。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述探針(5)為碳纖維探針，所述碳纖維探針的直徑為5um至10um，所述碳纖維探針針尖的曲率半徑為5nm至100nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，第二石英晶振(4)的第一叉腳(8)的上端面(8A)、第二石英晶振(4)的第二叉腳(9)的上端面(8B)、第一石英晶振(3)的第一叉腳(6)的上端面(6C)平齊。