[發(fā)明專利]一種片盒解鎖鑰匙及其解鎖方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810293415.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN110318583B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王剛;鄭教增;劉凱;付紅艷;陳俊朋;龐飛;孫璐剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號(hào): E05B19/00
• 分類號(hào): E05B19/00;E05B19/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明公開了一種片盒解鎖鑰匙及其解鎖方法，屬于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該片盒解鎖鑰匙包括鑰匙解鎖部和鑰匙調(diào)整部，所述鑰匙調(diào)整部的一端與所述鑰匙解鎖部連接，另一端與驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述鑰匙調(diào)整部包括至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述鑰匙解鎖部的空間姿態(tài)。該片盒解鎖鑰匙及其解鎖方法可以實(shí)現(xiàn)片盒解鎖鑰匙能夠自適應(yīng)調(diào)整其空間姿態(tài)，避免了現(xiàn)有技術(shù)中必須采用專用工裝調(diào)整片盒解鎖鑰匙的空間姿態(tài)才能使得片盒解鎖鑰匙插入片盒鑰匙孔中的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種片盒解鎖鑰匙及其解鎖方法。

背景技術(shù)

硅片是制作集成電路的重要材料，通過對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力，因此，半導(dǎo)體領(lǐng)域的硅片對(duì)航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國(guó)防等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域具有不可替代的作用。

硅片通常使用片盒來存儲(chǔ)與保護(hù)。片盒放置在片庫上，需要設(shè)置在片庫上的片盒解鎖裝置將片盒門解鎖，并將片盒門解鎖后，機(jī)械手才可以在片盒中取放硅片。

片盒門設(shè)計(jì)和片庫的設(shè)計(jì)時(shí)，都需要符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。SEMI標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定，片盒門上鑰匙孔和片庫設(shè)備中片盒解鎖鑰匙的間隙較少(比如鑰匙孔和片盒解鎖鑰匙的X向最大間隙為±0.2mm)。在目前使用的設(shè)備中，片盒門鑰匙孔為剛性結(jié)構(gòu)，片庫上的片盒解鎖鑰匙也為剛性結(jié)構(gòu)。為了實(shí)現(xiàn)片盒門的順利解鎖，一般情況下，片庫集成時(shí)，從片庫平面到片庫解鎖組件中定位、解鎖之間需要專用工裝保證合適的相對(duì)位置和空間姿態(tài)，集成調(diào)試難度很大。

并且，在實(shí)際使用中，即使采用專用工裝保證了片盒解鎖鑰匙相對(duì)位置和相對(duì)姿態(tài)，由于同型號(hào)不同片盒的制造誤差和不同型號(hào)片盒之間的設(shè)計(jì)尺寸不同，而片庫的解鎖裝置為同一片盒解鎖鑰匙，因此當(dāng)片盒解鎖鑰匙與片盒鑰匙孔稍有偏差都會(huì)使得片庫上片盒解鎖鑰匙無法順利插入片盒門鑰匙孔，使得開解鎖失敗，從而導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)；而且經(jīng)常發(fā)生鑰匙孔和片盒解鎖鑰匙之間的剛性卡死，導(dǎo)致某一個(gè)片盒門報(bào)廢。

針對(duì)上述問題，亟需設(shè)計(jì)一種片盒解鎖鑰匙及其解鎖方法，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中必須采用專用工裝調(diào)整片盒解鎖鑰匙的姿態(tài)才能使得片盒解鎖鑰匙插入片盒鑰匙孔中的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種片盒解鎖鑰匙及其解鎖方法，可以實(shí)現(xiàn)片盒解鎖鑰匙自適應(yīng)調(diào)整其相對(duì)姿態(tài)，從而使得片盒解鎖鑰匙能夠順利插入片盒鑰匙孔中。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種片盒解鎖鑰匙，包括鑰匙解鎖部和鑰匙調(diào)整部，所述鑰匙調(diào)整部的一端與所述鑰匙解鎖部連接，另一端與驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述鑰匙調(diào)整部包括至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述鑰匙解鎖部的空間姿態(tài)。

采用這種結(jié)構(gòu)后，通過設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述鑰匙調(diào)整部連接，可以實(shí)現(xiàn)片盒解鎖鑰匙能夠自適應(yīng)調(diào)整其相對(duì)姿態(tài)，避免了現(xiàn)有技術(shù)中必須采用專用工裝調(diào)整片盒解鎖鑰匙的姿態(tài)才能使得片盒解鎖鑰匙插入片盒鑰匙孔中的問題。

作為上述片盒解鎖鑰匙的一種優(yōu)選方案，所述鑰匙調(diào)整部包括Ry旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、Rx旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和Rz旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述Ry旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)繞所述鑰匙調(diào)整部的軸線旋轉(zhuǎn)，所述Rx旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)繞垂直于所述軸線的X軸旋轉(zhuǎn)，所述Rz旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)繞垂直于所述軸線的Z軸旋轉(zhuǎn)，且所述X軸和所述Z軸垂直；

所述Ry旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述Rx旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)或所述Rz旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述鑰匙解鎖部與未連接所述Ry旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述Rx旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)或所述Rz旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接。

采用這種結(jié)構(gòu)后，通過設(shè)置Ry旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、Rx旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和Rz旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)鑰匙調(diào)整部多個(gè)自由度的調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)鑰匙解鎖部根據(jù)不同的姿態(tài)進(jìn)行自適應(yīng)調(diào)整。

作為上述片盒解鎖鑰匙的一種優(yōu)選方案，所述Ry旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述Rx旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的一端鉸接，所述Rx旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的另一端與所述Rz旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)鉸接，所述Rz旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述鑰匙解鎖部剛性連接。