[發(fā)明專利]一種調(diào)控加電探針與玻璃基板接觸的裝置、系統(tǒng)及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810292115.0 | 申請日： | 2018-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN108761852A | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 苑春歌 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳匯智容達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊賢卿 |
| 地址： | 518000 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 探針 夾持裝置 上蓋 玻璃基板 探針基座 底座 馬達(dá) 壓力傳感器 加電 接觸不良 上下表面 行程控制 壓力數(shù)據(jù) 傳感器 調(diào)控 底端 感測 相夾 發(fā)現(xiàn) | ||
1.一種調(diào)控加電探針與玻璃基板接觸的裝置，其特征在于，所述裝置包括至少一個夾持裝置以及與所述夾持裝置數(shù)量相對應(yīng)的馬達(dá)，其中：
所述夾持裝置包括上蓋、底座和探針基座，所述底座設(shè)置在所述探針基座下方，所述夾持裝置的探針基座上固定有至少一個探針，所述上蓋和所述探針分別與所述玻璃基板的上下表面相夾持；
在探針基座內(nèi)部位于每一探針底端均設(shè)置有一壓力傳感器，所述壓力傳感器用于感測與其連接的探針的壓力值；
每一所述馬達(dá)與一夾持裝置的上蓋和底座相連接，所述馬達(dá)用于控制所述上蓋和底座的行程。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述底座與所述探針基座整體成型。
3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，每個所述夾持裝置的探針連接電壓源。
4.一種調(diào)控加電探針與玻璃基板接觸的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括至少一個夾持裝置、與所述夾持裝置數(shù)量相對應(yīng)的馬達(dá)以及一控制裝置，其中：
所述夾持裝置包括上蓋、底座和探針基座，所述底座設(shè)置在所述探針基座下方，所述夾持裝置的探針基座上固定有至少一個探針，所述上蓋和所述探針分別與所述玻璃基板的上下表面相夾持；
在探針基座內(nèi)部位于每一探針底端均設(shè)置有一壓力傳感器，所述壓力傳感器用于感測與其連接的探針的壓力值；
每一所述馬達(dá)與一夾持裝置的上蓋和底座相連接，所述馬達(dá)用于控制所述上蓋和底座的行程；
所述控制裝置包括夾持控制單元、接收單元、運算單元和調(diào)節(jié)單元；
所述夾持控制單元用于根據(jù)每一所述夾持裝置對應(yīng)的預(yù)定行程，驅(qū)動馬達(dá)控制每一所述夾持裝置對玻璃基板進(jìn)行夾持；
所述接收單元用于在對玻璃基板進(jìn)行夾持后，接收每一所述夾持裝置中的各探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值；
所述運算單元用于根據(jù)每一所述夾持裝置中各探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值，確定需要調(diào)節(jié)行程的夾持裝置，以及行程調(diào)節(jié)量；
調(diào)節(jié)單元，用于對相應(yīng)的夾持裝置進(jìn)行相應(yīng)的行程調(diào)節(jié)。
5.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運算單元包括:
比較模塊，用于根據(jù)各探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值與預(yù)定閾值進(jìn)行比較；
運算模塊，當(dāng)所述比較模塊的比較結(jié)果為探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值小于預(yù)定閾值時，確定所述探針對應(yīng)的夾持裝置需要進(jìn)行行程調(diào)節(jié)，并根據(jù)預(yù)設(shè)規(guī)則確定行程調(diào)節(jié)量。
6.如權(quán)利要求4或5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括:
報警單元，用于確定夾持裝置需要調(diào)節(jié)行程時，發(fā)出警告信號。
7.一種調(diào)控加電探針與玻璃基板接觸的方法，其特征在于，所述方法包括：
根據(jù)每一夾持裝置對應(yīng)的預(yù)定行程，驅(qū)動馬達(dá)控制每一所述夾持裝置對所述玻璃基板進(jìn)行夾持；
對玻璃基板進(jìn)行夾持后，接收每一所述夾持裝置中的各探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值；
根據(jù)每一所述夾持裝置中各探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值，確定需要調(diào)節(jié)行程的夾持裝置，以及行程調(diào)節(jié)量；
對相應(yīng)的夾持裝置進(jìn)行相應(yīng)的行程調(diào)節(jié)。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)每一所述夾持裝置中各探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值，確定需要調(diào)節(jié)行程的夾持裝置，以及行程調(diào)節(jié)量的步驟具體包括：
根據(jù)各探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值與預(yù)定閾值進(jìn)行比較；
當(dāng)探針對應(yīng)的壓力傳感器的數(shù)值小于預(yù)定閾值，確定所述探針對應(yīng)的夾持裝置需要進(jìn)行行程調(diào)節(jié)，并根據(jù)預(yù)設(shè)規(guī)則確定行程調(diào)節(jié)量。
9.如權(quán)利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
當(dāng)確定夾持裝置的需要調(diào)節(jié)行程時，發(fā)出警告信號。
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G02F 用于控制光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào)，上述器件或裝置的光學(xué)操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學(xué)性質(zhì)來修改的；用于上述操作的技術(shù)或工藝；變頻；非線性光學(xué)；光學(xué)
G02F1-00 控制來自獨立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學(xué)
G02F1-01 .對強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
