[發明專利]一種透反式寬度可調消光暈勻化光學系統

在審

• 申請號: 201810291213.2
• 申請日: 2018-04-03
• 公開（公告）號: CN108427205A
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 邵華江;李思佳;李思泉
• 申請（專利權）人: 上海嘉強自動化技術有限公司
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 李海燕

1.一種透反式寬度可調消光暈勻化光學系統，其特征在于，包括從物側到像側順序布置且中心軸共面的消像差準直鏡組、第一曲型柱面反射鏡陣列、第二曲型柱面反射鏡陣列、第一柱面透鏡及第二柱面透鏡；

其中，所述消像差準直鏡組的中心軸垂直于所述第一曲型柱面反射鏡陣列柱面的中心軸；

所述第一曲型柱面反射鏡陣列、所述第二曲型柱面反射鏡陣列均為90°光束偏轉角，且反射鏡面法線相互平行；

所述第一柱面透鏡的中心軸、所述第二柱面透鏡的中心軸與所述消像差準直鏡組的中心軸平行。

2.根據權利要求1所述的一種透反式寬度可調消光暈勻化光學系統，其特征在于，所述消像差準直鏡組為熔融石英材料的圓形鏡片的組合，所述消像差準直鏡組為消像差球面鏡組。

3.根據權利要求1所述的一種透反式寬度可調消光暈勻化光學系統，其特征在于，所述第一曲型柱面反射鏡陣列、第二曲型柱面反射鏡陣列均為金屬材料且具有水冷通道的圓柱狀斜面反射鏡，所述第一曲型柱面反射鏡陣列與所述第二曲型柱面反射鏡陣列的各個陣列單元均為寬度相同的柱狀凹形曲面；

所述第一曲型柱面反射鏡陣列的各個陣列單元沿所述第一曲型柱面反射鏡陣列中心軸方向對齊放置，所述陣列單元分界線垂直于所述第一曲型柱面反射鏡陣列對稱面；

所述第二曲型柱面反射鏡陣列的各個陣列單元沿所述第二曲型柱面反射鏡陣列中心軸方向對齊放置，所述陣列單元分界線垂直于所述第二曲型柱面反射鏡陣列對稱面。

4.根據權利要求1所述的一種透反式寬度可調消光暈勻化光學系統，其特征在于，所述第一柱面透鏡與所述第二柱面透鏡均為熔融石英材料的矩形鏡片，所述第一柱面透鏡的聚焦線垂直于所述第一曲型柱面反射鏡陣列對稱面，第二柱面透鏡的聚焦線平行于所述第一曲型柱面反射鏡陣列對稱面。

5.根據權利要求1所述的一種透反式寬度可調消光暈勻化光學系統，其特征在于，所述第一柱面透鏡固定，第二柱面透鏡可相對于所述第一柱面透鏡移動。