[發(fā)明專利]用于二氧化碳激光器的工作氣體及充氣方法和充氣裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810290315.2
• 申請(qǐng)日: 2018-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN108512019A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐友清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京晨銳騰晶激光科技有限公司
• 主分類號(hào): H01S3/036
• 分類號(hào): H01S3/036;H01S3/223
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 32218
• 代理人: 李德濺

1.一種用于二氧化碳激光器的工作氣體，其特征在于：所述的工作氣體中各氣體組分的體積百分比分別為：0.5%～3%的氫氣、2.7%～5%的氙氣、11%～20.5%的二氧化碳、13%～25%的氮?dú)夂?0.4%～73.2%的氦氣；上述組分的體積百分比之和為100%。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于二氧化碳激光器的工作氣體，其特征在于：所述的工作氣體中各氣體組分的體積百分比分別為：0.5%～1%的氫氣、3%～5%的氙氣、13%～18%的二氧化碳、13%～18%的氮?dú)夂?5%～70%的氦氣；上述組分的體積百分比之和為100%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1-2任一所述的用于二氧化碳激光器的工作氣體的充氣方法，其特征在于：該充氣方法的步驟為：

步驟a）用真空泵對(duì)激光器諧振腔抽真空，使得激光器諧振腔內(nèi)的真空度應(yīng)達(dá)到10^-6Pa；

步驟b）將組成工作氣體的各氣體組分按照計(jì)算好的體積比依次充入激光器諧振腔內(nèi)，使得激光器諧振腔內(nèi)的總氣壓達(dá)到8kPa～13kPa。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于二氧化碳激光器的工作氣體的充氣方法，其特征在于：所述步驟b）中的各氣體組分的充氣順序?yàn)榘凑阵w積百分比由小到大排列，依次充入激光器諧振腔內(nèi)。

5.一種根據(jù)權(quán)利要求3-4任一所述的充氣方法所采用的充氣裝置，包括能夠與激光器諧振腔（1）連通的連通管（2），其特征在于：所述的連通管（2）上帶有連通管閥門（3），在連通管（2）的另一端分別連通有抽氣管（4）和充氣管（5）；所述抽氣管（4）的輸出端與真空泵（7）相連通且抽氣管（4）上設(shè)有與控制器（9）相連接的真空電磁閥（6）；所述的充氣管（5）分別通過相應(yīng)的充氣支管和對(duì)應(yīng)的氣瓶相連通，充氣支管和氣瓶的數(shù)量與待充氣體種類相同且各充氣支管上分別設(shè)有相應(yīng)的充氣電磁閥，且各充氣電磁閥分別與控制器（9）相連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的充氣裝置，其特征在于：所述的連通管（2）與激光器諧振腔（1）上設(shè)置的氣腔閥門（10）相連接；所述的連通管閥門（3）上帶有總流量計(jì)（11）且連通管閥門（3）內(nèi)側(cè)的連通管（2）上設(shè)有真空計(jì)（12），真空計(jì)（12）的數(shù)據(jù)輸出端口與控制器（9）的真空信號(hào)輸入管腳相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的充氣裝置，其特征在于：所述的氣瓶包括氫氣瓶（13）、氙氣瓶（17）、二氧化碳瓶（21）、氮?dú)馄浚?5）、氦氣瓶（29），氫氣瓶（13）通過帶有氫氣電磁閥（14）的氫氣充氣支管（15）與充氣管（5）的輸入口相連通；氙氣瓶（17）通過帶有氙氣電磁閥（18）的氙氣充氣支管（19）與充氣管（5）的輸入口相連通；二氧化碳瓶（21）通過帶有二氧化碳電磁閥（22）的二氧化碳充氣支管（23）與充氣管（5）的輸入口相連通；氮?dú)馄浚?5）通過帶有氮?dú)怆姶砰y（26）的氮?dú)獬錃庵Ч埽?7）與充氣管（5）的輸入口相連通；氦氣瓶（29）通過帶有氦氣電磁閥（30）的氦氣充氣支管（31）與充氣管（5）的輸入口相連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的充氣裝置，其特征在于：所述的氫氣電磁閥（14）通過氫氣繼電器（16）與控制器（9）相連接，控制器（9）通過氫氣繼電器（16）來(lái)控制氫氣電磁閥（14）的開關(guān)；氙氣電磁閥（18）通過氙氣繼電器（20）與控制器（9）相連接，控制器（9）通過氙氣繼電器（20）來(lái)控制氙氣電磁閥（18）的開關(guān)；二氧化碳電磁閥（22）通過二氧化碳繼電器（24）與控制器（9）相連接，控制器（9）通過二氧化碳繼電器（24）來(lái)控制二氧化碳電磁閥（22）的開關(guān)；氮?dú)怆姶砰y（26）通過氮?dú)饫^電器（28）與控制器（9）相連接，控制器（9）通過氮?dú)饫^電器（28）來(lái)控制氮?dú)怆姶砰y（26）的開關(guān)；氦氣電磁閥（30）通過氦氣繼電器（32）與控制器（9）相連接，控制器（9）通過氦氣繼電器（32）來(lái)控制氦氣電磁閥（30）的開關(guān)。