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[發明專利]一種石英坩堝的制備工藝在審

專利信息
申請號: 201810288375.0 申請日: 2018-04-03
公開(公告)號: CN108585475A 公開(公告)日: 2018-09-28
發明(設計)人: 胡漢濤 申請(專利權)人: 湖州五石科技有限公司
主分類號: C03C3/06 分類號: C03C3/06;C03C6/04;C03B19/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 313009 浙江*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 石英坩堝 制備工藝 模具 單晶硅 生產成本低 高溫熔制 高壓沖洗 高壓噴淋 檢驗包裝 金屬合金 起弧電壓 使用壽命 涂層處理 真空電弧 拉制 電極棒 內旋轉 石英砂 烘干 泥漿 超聲 熔制 酸洗 脫模 制備 成功率 成型 冷卻 能耗 入庫 節約
【權利要求書】:

1.一種石英坩堝的制備工藝,其特征在于,包括以下步驟:

(1)、按質量百分比取石英砂95-96%,碳酸鈣0.5-1%,聚乙烯醇0.5-2%,高嶺土2-5%,硅酸鈉1-2%混合均勻形成配合料后,再將配合料加入球磨機中,再向球磨機中加入蒸餾水,放入與配合料等重量的球石球磨40-50h,將料漿從球磨機中倒出,并過120-150目標準篩,得石英坩堝用石英砂泥漿;

(2)、將上述石英砂泥漿原料加入真空度為0.01-0.1pa 的金屬合金模具內旋轉成型;

(3)、真空電弧高溫熔制模具內的原料,控制熔制溫度為2500-2800oC,電極棒起弧電壓140-160V;

(4)、將熔制好的石英坩堝自然冷卻至室溫進行脫模;

(5)、對石英坩堝進行酸洗、高壓沖洗、超聲和高壓噴淋;

(6)、清洗后的石英坩堝先后進行烘干、涂層處理;

(7)、涂層處理后的石英坩堝進行冷卻至室溫,檢驗包裝入庫。

2.根據權利要求1所述的一種石英坩堝的制備工藝,其特征在于,所述步驟(1)中,球磨時間為40h,并過150目標準篩。

3.根據權利要求1所述的一種石英坩堝的制備工藝,其特征在于,所述步驟(3)中,控制熔制溫度為2600oC,電極棒起弧電壓150V。

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