[發明專利]一種銅及銅合金表面清洗液及其制備方法

在審

• 申請號: 201810282261.5
• 申請日: 2018-04-02
• 公開（公告）號: CN108411314A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 徐艷春;唐明松
• 申請（專利權）人: 深圳市祥盛興科技有限公司
• 主分類號: C23G1/10
• 分類號: C23G1/10
• 代理公司: 廣州勝沃園專利代理有限公司 44416
• 代理人: 張帥

1.一種銅及銅合金表面清洗液，其特征在于，按重量百分比計，其配方為：濃硫酸8-15％、過氧化氫70-75％、增稠劑1-4％和光亮添加劑15-20％。

2.根據權利要求1所述的銅及銅合金表面清洗液，其特征在于，按重量百分比計，其配方為：98％濃硫酸8-12％、30％過氧化氫70-75％、增稠劑2-4％和光亮添加劑15-20％。

3.根據權利要求1所述的銅及銅合金表面清洗液，其特征在于，所述增稠劑的制備方法為：

S1、聚合：取2，4－甲苯二異氰酸酯、N-甲基嗎啉、乙二醇丁醚和聚乙二醇溶于丙酮，加熱反應，得混合物溶液；

S2、封端：向步驟S1所得混合物溶液中加入丙酮肟均勻混合，加熱反應，即得。

4.根據權利要求3所述的銅及銅合金表面清洗液，其特征在于，所述增稠劑原料重量比為：2，4－甲苯二異氰酸酯：N-甲基嗎啉：乙二醇丁醚：聚乙二醇：丙酮肟＝(2～4)：1：1：1：(1～2)，聚合溫度為80℃，封端溫度為85℃。

5.根據權利要求1所述的銅及銅合金表面清洗液，其特征在于，所述光亮添加劑由以下成分及重量比組成：有機酸5-15％、過氧化氫穩定劑20-30％、光亮劑30-40％、增亮劑5-15％和銅鈍化劑10-20％。

6.根據權利要求5所述的銅及銅合金表面清洗液，其特征在于，所述有機酸選自檸檬酸、乙酸和羥基乙叉二膦酸中的一種或兩種以上；所述過氧化氫穩定劑選自乙醇和乙二醇中的一種或兩種；所述光亮劑選自硫脲、乙二胺四乙酸、檸檬酸銨和葡萄糖酸鈉中的一種或兩種以上；所述增亮劑選自聚丙烯酰胺和聚乙二醇中的一種或兩種；所述銅鈍化劑選自咪唑、苯并三氮唑、烷基酚聚氧乙烯醚和巰基苯駢噻唑中的一種或兩種以上。

7.根據權利要求1-6任一所述的銅及銅合金表面清洗液制備方法，其特征在于，其制備方法為：向光亮酸洗槽中加入一定量的過氧化氫，然后慢慢加入光亮添加劑，再緩慢加入濃硫酸，邊加邊攪拌，待溶液溫度降至20-30℃時，加入增稠劑，邊加邊攪拌，混合均勻即得。