[發明專利]一種溫度測量的裝置

在審

• 申請號: 201810275515.0
• 申請日: 2018-03-30
• 公開（公告）號: CN108195478A
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 任玲玲;李碩;繆向水;童浩;王愿兵
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院;武漢嘉儀通科技有限公司
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;G01K13/00
• 代理公司: 北京坦路來專利代理有限公司 11652
• 代理人: 汪送來

本發明實施例涉及一種溫度測量的裝置，包括：樣品臺(1)，所述樣品臺(1)處于真空紅外加熱條件下；石英托管(2)，所述石英托管(2)連接并支撐樣品臺(1)，處于真空紅外加熱條件下；塊狀介質(3)，位于所述樣品臺(1)之內，所述塊狀介質(3)加工有孔；熱電偶(4)，所述熱電偶(4)穿過石英托管(2)，其測溫端插入塊狀介質(3)的所述孔之內；其中，塊狀介質(3)的紅外輻射吸收率不低于0.90，導熱系數不低于60～70W/(m·K)。本發明實施例提供一種溫度測量的裝置能夠針對真空紅外加熱的特殊環境，準確測量樣品臺內的溫度。

技術領域

本發明涉及溫度測量領域，尤其涉及一種溫度測量的裝置。

背景技術

石英托管支撐連接樣品臺，處于真空紅外加熱條件下，熱電偶穿過石英托管，其測溫端置于樣品臺內，用于測量樣品臺內的溫度。

基于此，本發明的發明人發現，在真空紅外加熱條件下，相互不接觸的兩個物體之間熱量傳遞的方式僅為熱輻射，而熱電偶無法準確測量樣品臺內的真實溫度。

公開于該背景技術部分的信息僅僅旨在增加對本發明的總體背景的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域一般技術人員所公知的現有技術。

發明內容

有鑒于此，本發明要解決的技術問題是，針對真空紅外加熱的特殊環境，如何準確測量樣品的溫度。

為解決以上技術問題，本發明實施例提供一種溫度測量的裝置包括：樣品臺1，所述樣品臺1處于真空紅外加熱條件下；石英托管2，所述石英托管2連接并支撐樣品臺1，處于真空紅外加熱條件下；塊狀介質3，位于所述樣品臺1之內，所述塊狀介質3加工有孔；熱電偶4，所述熱電偶4穿過石英托管2，其測溫端插入塊狀介質3的所述孔之內，用于測量樣品臺內的溫度；其中，塊狀介質3的紅外輻射吸收率不低于0.90，導熱系數不低于60～70W/(m·K)。

在一種可能的實現方式中，所述塊狀介質3的材質包括高純度石墨。

在一種可能的實現方式中，所述孔位于所述塊狀介質3的任意位置。

在一種可能的實現方式中，所述孔的數量是一個或多個，所述孔位于所述塊狀介質3的任意位置；所述熱電偶4的數量是一個或多個，一個或多個所述熱電偶4的測溫端與所述塊狀介質3的一個或多個所述孔匹配。

在一種可能的實現方式中，一個或多個所述熱電偶4的種類包括鉑銠10-鉑熱電偶、鉑銠13-鉑熱電偶、鎳鉻-鎳硅熱電偶和鎳鉻硅-鎳硅熱電偶中的一種或多種。

在一種可能的實現方式中，所述熱電偶4用于測量樣品臺內的溫度，并與控溫系統連接。

在一種可能的實現方式中，所述塊狀介質3的材質包括鎳鉻合金、碳化硅陶瓷、氮化鋁陶瓷中的一種或多種。

本發明實施例提供的一種溫度測量的裝置，通過樣品臺1處于真空紅外加熱條件下；石英托管2連接并支撐樣品臺1，處于真空紅外加熱條件下；塊狀介質3位于所述樣品臺1之內，所述塊狀介質3加工有孔；熱電偶4穿過石英托管2，其測溫端插入塊狀介質3所述孔之內，用于測量樣品臺的溫度；其中，塊狀介質3的紅外輻射吸收率不低于0.90，導熱系數不低于60～70W/(m·K)，能夠利用具有較高紅外輻射吸收率和良好導熱性能的塊狀介質3吸收和傳導熱量克服熱電偶4的測溫誤差，使熱電偶4能夠準確測量樣品臺內的溫度。

根據下面參考附圖對示例性實施例的詳細說明，本發明的其它特征及方面將變得清楚。

附圖說明

一個或多個實施例通過與之對應的附圖中的圖片進行示例性說明，這些示例性說明并不構成對實施例的限定，附圖中具有相同參考數字標號的元件表示為類似的元件，除非有特別申明，附圖中的圖不構成比例限制。

圖1示出本發明實施例提供的一種溫度測量的裝置的結構示意圖。