[發(fā)明專利]液滴測(cè)定方法、液滴測(cè)定裝置及器件制造方法、制造裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810274713.5 | 申請(qǐng)日： | 2018-03-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108731590B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-10-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 末益智志;增永圭二郎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 松下知識(shí)產(chǎn)權(quán)經(jīng)營(yíng)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/00 | 分類號(hào)： | G01B11/00;G01B11/24;B41J2/01 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 李國(guó)華 |
| 地址： | 日本國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測(cè)定 方法 裝置 器件 制造 | ||
1.一種液滴測(cè)定裝置，包括：
測(cè)定臺(tái)，其在表面保持透光性的樣品基板，并且在表面具有凹部，使得形成在所述樣品基板的液滴的位置的所述樣品基板的背面不與所述測(cè)定臺(tái)的上表面接觸；
攝像部，其向表面形成了所述液滴的所述樣品基板上照射光，測(cè)定來(lái)自所述樣品基板以及所述液滴的反射光的光量；以及
測(cè)定控制部，其基于所述攝像部測(cè)定的所述反射光的光量的亮度信息，求出所述液滴的體積或表面形狀，
所述樣品基板的厚度大于所述光的波長(zhǎng)，并且為所述液滴的焦距以下，從而在所述樣品基板的背面反射的光得到越是所述液滴的中心部與液滴外周部相比亮度越亮的分布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴測(cè)定裝置，所述液滴的焦距是從所述液滴的凸側(cè)入射所述光而使聚光在以頂點(diǎn)為中心的微小范圍內(nèi)的光變多的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液滴測(cè)定裝置，所述微小范圍是根據(jù)所述攝像部中的照相機(jī)的傳感器的寬度以及所述攝像部中的透鏡的倍率導(dǎo)出的像素尺寸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴測(cè)定裝置，所述樣品基板的折射率N為1.4≤N≤1.6。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴測(cè)定裝置，在所述樣品基板與所述測(cè)定臺(tái)之間配置了一片或厚度相互不同的多片透明性的虛設(shè)基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液滴測(cè)定裝置，在所述樣品基板的表面形成有具有憎水性的高分子膜。
7.一種器件制造裝置，具有：
權(quán)利要求1所述的液滴測(cè)定裝置；
保持印刷對(duì)象物的生產(chǎn)臺(tái)；以及
對(duì)所述印刷對(duì)象物涂敷液滴的行式頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的器件制造裝置，利用所述生產(chǎn)臺(tái)作為所述液滴測(cè)定裝置的臺(tái)。
9.一種液滴測(cè)定方法，將表面形成了測(cè)定對(duì)象的液滴的透光性的樣品基板設(shè)置在表面形成了凹部的測(cè)定臺(tái)的表面，使得所述液滴的位置的所述樣品基板的背面不與所述測(cè)定臺(tái)的上表面接觸，
對(duì)形成在設(shè)置于所述測(cè)定臺(tái)上的所述樣品基板的所述液滴照射光并用攝像部進(jìn)行攝像，在所述樣品基板的厚度大于所述光的波長(zhǎng)并且為所述液滴的焦距以下，從而在所述樣品基板的背面反射的光得到越是所述液滴的中心部與液滴外周部相比亮度越亮的分布的狀態(tài)下，測(cè)定來(lái)自所述樣品基板以及所述液滴的反射光量，
基于所述攝像部測(cè)定的反射光量求出所述液滴的體積或表面形狀。
10.一種液滴測(cè)定方法，在表面形成了凹部的測(cè)定臺(tái)的表面設(shè)置透光性的樣品基板，使得形成在所述樣品基板的液滴的位置的所述樣品基板的背面不與所述測(cè)定臺(tái)的上表面接觸，
從具有評(píng)價(jià)對(duì)象的噴嘴的噴吐頭朝向所述測(cè)定臺(tái)的所述凹部的位置噴吐功能性材料，從而在所述樣品基板的表面形成所述液滴，
用攝像部對(duì)所述樣品基板的所述液滴進(jìn)行攝像，測(cè)定來(lái)自所述樣品基板以及所述液滴的反射光量，
對(duì)形成在設(shè)置于所述測(cè)定臺(tái)上的所述樣品基板的所述液滴照射光并用攝像部進(jìn)行攝像，在所述樣品基板的厚度大于所述光的波長(zhǎng)并且為所述液滴的焦距以下，從而在所述樣品基板的背面反射的光得到越是所述液滴的中心部與液滴外周部相比亮度越亮的分布的狀態(tài)下，測(cè)定來(lái)自所述樣品基板以及所述液滴的反射光量，
基于所述攝像部測(cè)定的反射光量，求出所述液滴的體積或表面形狀，對(duì)所述噴吐頭的噴嘴進(jìn)行評(píng)價(jià)。
11.一種器件制造方法，在權(quán)利要求10所述的液滴測(cè)定方法之前或之后，在所述測(cè)定臺(tái)設(shè)置印刷對(duì)象物，從具有所述評(píng)價(jià)對(duì)象的噴嘴的噴吐頭對(duì)所述印刷對(duì)象物噴吐所述功能性材料，制造所述印刷對(duì)象物。
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