[發明專利]一種太陽能電池生產用蝕刻裝置

有效

• 申請號: 201810272180.7
• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN108511370B
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 謝名亮
• 申請（專利權）人: 安徽三電光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

本發明公開了一種太陽能電池生產用蝕刻裝置，包括蝕刻槽和安裝于蝕刻槽上的噴淋裝置；所述蝕刻槽的前表面開有進料口，所述蝕刻槽的后表面開有與進料口相配合的出料口；所述蝕刻槽的左側外表面設有蝕刻液槽，所述蝕刻槽的右側表面設有集廢液槽；所述蝕刻槽的左側表面頂端邊緣處固定有連接橫梁，所述連接橫梁的表面貫穿固定有蝸桿；所述噴淋裝置包括噴淋管，所述噴淋管的表面固定有蝸輪；所述噴淋管的左側端處通過軸套連接有進液管，所述噴淋管的右側端處通過軸連接有出液管。本發明的蝕刻裝置結構簡單、操作自動化，蝕刻液噴灑均勻，蝕刻效果均勻，同時，具有稼動率高、清洗能力強且不會產生二次污染的優點。

技術領域

本發明屬于太陽能電池生產技術領域，具體地，涉及一種太陽能電池生產用蝕刻裝置。

背景技術

太陽能電池又稱為“太陽能芯片”或“光電池”，是一種利用太陽光直接發電的光電半導體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產生電流。太陽能作為一種綠色能源，太陽能電池行業近年來不斷發展。

蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和干蝕刻(dry etching)兩類，在蝕刻時接觸化學溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。經過不斷改良和工藝設備發展，蝕刻技術可以用于航空、機械、化學工業中電子薄片零件精密蝕刻產品的加工，在太陽能電池的生產過程中，特別在太陽能電池片的制程上，蝕刻更是不可或缺的技術。

常見的蝕刻裝置包括噴淋嘴和傳送軌道，噴淋嘴對蝕刻液的噴灑會出現噴灑不均勻的現象，出現因蝕刻效果不均勻，導致電路板的可靠性不良；

同時，濕蝕刻過程中，隨著生產時間的累積，導致蝕刻裝置的蝕刻槽內會積聚大量的黑色油性污垢，嚴重影響蝕刻槽內蝕刻液的特性，而對于黑色油性污垢的清洗通常是采用停機保養的方式，即先將蝕刻裝置進行停機，再通過人工對蝕刻槽進行清洗。這種方式在清洗過程中降低了蝕刻裝置的稼動率，清洗工作量大、效率低；同時，對于積累時間長的污垢需采用借助清洗工具和有機溶劑，導致蝕刻槽容易損壞且容易產生二次污染。

發明內容

針對上述背景技術中存在的不足，本發明提供了一種太陽能電池生產用蝕刻裝置，該蝕刻裝置結構簡單，噴淋均勻，稼動率高、清洗能力強且不會產生二次污染。

本發明的目的可以通過以下技術方案實現：

一種太陽能電池生產用蝕刻裝置，包括蝕刻槽和安裝于蝕刻槽上的噴淋裝置；

所述蝕刻槽的前表面開有進料口，所述蝕刻槽的后表面開有與進料口相配合的出料口；所述蝕刻槽的左、右側表面均開有第一圓形通孔，所述蝕刻槽的右側表面開有第二圓形通孔；所述蝕刻槽的左側外表面設有蝕刻液槽，所述蝕刻槽的右側表面設有集廢液槽，所述蝕刻液槽和集廢液槽的內壁均安裝有固定支架；所述蝕刻槽的左側表面頂端邊緣處固定有連接橫梁，所述連接橫梁的表面貫穿固定有蝸桿；

所述噴淋裝置包括噴淋管，所述噴淋管的表面開有均勻密集分布的出液孔，兩根所述噴淋管貫穿固定于蝕刻槽的兩側表面，所述噴淋管的表面固定有蝸輪，所述蝸輪位于蝕刻槽的左側外部，所述蝸輪與蝸桿嚙合；所述噴淋管的左側端處通過軸套連接有進液管，所述噴淋管的右側端處通過軸連接有出液管；所述出液管的下方安裝有排廢液管。

進一步地，所述進料口連接太陽能電池片的傳送軌道，太陽能電池片經傳送軌道由所述進料口輸送入蝕刻槽內進行濕蝕刻。

進一步地，所述固定支架包括連接桿和固定于連接桿端處的固定環，所述進液管和出液管均固定于固定支架的固定環內。

進一步地，兩個所述連接橫梁的相對表面開有第三圓形通孔，所述蝸桿與第三圓形通孔配合，所述蝸桿通過軸承安裝于連接橫梁的表面。

進一步地，所述噴淋管與第一圓形通孔配合，所述噴淋管通過軸承安裝于蝕刻槽的表面。