[發明專利]一種閃光燈退火爐

在審

• 申請號: 201810264998.4
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN108447804A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 于仕輝;趙樂;劉榮闖;李玲霞;孫永濤
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/324
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 張宏祥

1.一種閃光燈退火爐，包括殼體、真空腔和閃光燈，其特征在于，所述殼體(20)的內部為真空腔(1)，真空腔(1)的側面設置有真空計(6)和進氣閥(7)，真空腔(1)的底部設置有抽氣閥(17)，真空腔(1)的另一側面設置有真空腔門(18)，真空腔門(18)上設置有觀察窗(19)；真空腔(1)的頂部兩端分別設置有高能閃光燈(8)，每個高能閃光燈(8)還分別設置有錐形反光鏡(9)和凸透鏡(10)以實現高能光的聚集；真空腔(1)的中間部位設置有濾光片(11)，濾光片(11)通過濾光片支撐桿(12)與殼體相連接；濾光片(11)的下面設置有樣品擋板(13)，樣品擋板(13)通過擋板支架(14)支撐于真空腔內，并通過擋板支架(14)進行轉動以遮擋和保護制品；樣品擋板(13)的下面設置有樣品臺(15)，樣品臺(15)下面的中央位置設置有樣品臺轉軸(16)，樣品臺(15)內設置水有水冷循環裝置，樣品臺轉軸(16)為中空可旋轉結構，樣品臺(15)通過樣品臺轉軸(16)勻速轉動并與外部水冷裝置相連接；

殼體(20)的外部還設置有脈沖發生器(3)和功率源(5)，兩者通過電纜(4)相連接；脈沖發生器(3)與兩高能閃光燈(8)通過電線(2)連接電源。

2.根據權利要求1所述的一種閃光燈退火爐，其特征在于，所述殼體(20)采用金屬材料，為矩形、圓形或者其它幾何形狀，其容積為10L～500L。

3.根據權利要求1所述的一種閃光燈退火爐，其特征在于，該退火爐抽氣閥(17)外接抽氣設備為機械泵、分子泵或者離子泵，實現真空腔(1)內的真空，并通過真空計(6)控制腔內壓強。

4.根據權利要求1所述的一種閃光燈退火爐，其特征在于，該退火爐內的高能閃光燈(8)、錐形反光鏡(9)和凸透鏡(10)為1組，實現高能光的聚集，組數為1組以上。

5.根據權利要求1所述的一種閃光燈退火爐，其特征在于，樣品臺轉軸(16)的轉速≥1圈/分鐘。