[發(fā)明專利]一種飛秒激光器切割玻璃的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810264916.6 | 申請日： | 2018-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN110316949A | 公開（公告）日： | 2019-10-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳礪;黃宏 | 申請（專利權(quán)）人： | 福州高意光學(xué)有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/08 | 分類號： | C03B33/08;C03B29/00 |
| 代理公司： | 福州君誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 長度方向運(yùn)動 飛秒激光器 飛秒激光 微火焰 切割 長焦距鏡頭 短焦距透鏡 應(yīng)力集中點 玻璃 從上而下 基片表面 拋光 噴嘴 工藝流程 非連續(xù) 加工臺 自應(yīng)力 作用區(qū) 裂開 加熱 配合 聚焦 側(cè)面 引入 加工 | ||
1.一種飛秒激光器切割玻璃的方法，其特征在于：其包括以下步驟：
步驟1：將基片固定于加工臺；
步驟2：使用飛秒激光配合一短焦距透鏡在基片表面開一個V型槽，V型槽的底部形成引入應(yīng)力集中點；
步驟3：使用飛秒激光配合一長焦距鏡頭再次沿V型槽的長度方向運(yùn)動，并沿V型槽的深度方向自下而上在基片內(nèi)部聚焦形成非連續(xù)的作用區(qū)；
步驟4：使用微火焰噴嘴沿V型槽長度方向運(yùn)動，基片在微火焰加熱下，自應(yīng)力集中點沿V型槽的深度方向從上而下裂開，完成切割。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種飛秒激光器切割玻璃的方法，其特征在于：步驟1中選取的基片厚度不大于5mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種飛秒激光器切割玻璃的方法，其特征在于：基片為玻璃基片、藍(lán)寶石基片或石英晶體基片。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種飛秒激光器切割玻璃的方法，其特征在于：步驟2中飛秒激光通過非球面鏡聚焦后投射于基片表面，非球面鏡的焦距為3-10 mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種飛秒激光器切割玻璃的方法，其特征在于：步驟2中V型槽的寬為3-5μm，V型槽的深度為5-10μm。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種飛秒激光器切割玻璃的方法，其特征在于：步驟3中長焦鏡頭的焦距為20-50 mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種飛秒激光器切割玻璃的方法，其特征在于：步驟4中微火焰噴嘴的噴嘴火焰的直徑為1-2mm。
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