[發明專利]一種制備鉬鈦合金濺射靶材的方法有效
| 申請號： | 201810264866.1 | 申請日： | 2018-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN108374152B | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發明（設計）人： | 周偉;李倩;辛社偉;李磊;陳軍;張思遠 | 申請（專利權）人： | 西北有色金屬研究院 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C22C14/00;C22C1/02 |
| 代理公司： | 西安創知專利事務所 61213 | 代理人： | 譚文琰 |
| 地址： | 710016*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 鈦合金 濺射 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備鉬鈦合金濺射靶材的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：
步驟一、用多孔篩篩選出平均粒度為8mm~10mm的海綿鈦；
步驟二、將鉬粉和步驟一中篩選出的海綿鈦進行機械混合得到混合料；所述鉬粉的平均粒度為10μm～15μm，所述鉬粉和海綿鈦的質量比為（1~2）：（3~4），所述機械混合的時間為8min~10min；
步驟三、將步驟二中制成的混合料和平均粒度不超過15mm的海綿鈦按照下層海綿鈦、中層混合料和上層海綿鈦的順序進行布料，壓制后制成鉬鈦合金電極；
步驟四、將步驟三中制備的鉬鈦合金電極置于真空自耗電弧熔煉爐中進行熔煉，得到鉬鈦合金鑄錠；
步驟五、將步驟四中得到的鉬鈦合金鑄錠經過表面處理后，切割成特定形狀的鉬鈦合金濺射靶材。
2.根據權利要求1所述的一種制備鉬鈦合金濺射靶材的方法，其特征在于，步驟三中所述下層海綿鈦和上層海綿鈦的質量相同。
3.根據權利要求1所述的一種制備鉬鈦合金濺射靶材的方法，其特征在于，步驟四中所述熔煉的次數為三次。
4.根據權利要求1所述的一種制備鉬鈦合金濺射靶材的方法，其特征在于，步驟五中所述表面處理包括去除表面微孔和切除冒口縮孔處理。
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