[發(fā)明專利]檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810262417.3 | 申請(qǐng)日： | 2014-10-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108805821B | 公開（公告）日： | 2022-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄭升源;崔鐘鎮(zhèn);金資根 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社高迎科技 |
| 主分類號(hào)： | G06T5/00 | 分類號(hào)： | G06T5/00;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京青松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 鄭青松 |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢查 基板時(shí) 測(cè)定 區(qū)域 補(bǔ)償 方法 | ||
1.一種檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，所述測(cè)定區(qū)域?yàn)闉榱藱z查基板是否不良而設(shè)定于基板上的測(cè)定區(qū)域，所述檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法包括：
在基板的測(cè)定區(qū)域上提取特征客體的步驟；
在上述所提取的特征客體中，利用選擇相鄰的至少三個(gè)以上的特征客體的坐標(biāo)來形成的多邊形，從而設(shè)定多個(gè)有效區(qū)域的步驟；
利用與上述多個(gè)有效區(qū)域分別相對(duì)應(yīng)的多邊形的特征客體的坐標(biāo)，按各個(gè)上述有效區(qū)域生成補(bǔ)償矩陣的步驟；以及
選擇按各上述基板上的襯墊相匹配的補(bǔ)償矩陣來補(bǔ)償上述襯墊的坐標(biāo)的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述有效區(qū)域以與上述有效區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多邊形的重心坐標(biāo)為中心被設(shè)定為有效距離以內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，在各上述有效區(qū)域的補(bǔ)償矩陣中，設(shè)置有上述襯墊且從上述襯墊至上述多邊形的重心為止的距離最小的補(bǔ)償矩陣被選擇為針對(duì)上述襯墊的補(bǔ)償矩陣。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述有效距離以上述重心坐標(biāo)為中心形成上述多邊形的特征客體的坐標(biāo)之間的距離的平均距離而確定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述多邊形為三角形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述特征客體為上述測(cè)定區(qū)域內(nèi)的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的邊角部分中的至少一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法，其中，上述補(bǔ)償矩陣為仿射變換矩陣或投影變換矩陣、尺度和旋轉(zhuǎn)變換矩陣中的一種。
8.一種記錄介質(zhì)，其中，存儲(chǔ)有用于執(zhí)行權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的檢查基板時(shí)的測(cè)定區(qū)域補(bǔ)償方法的程序。
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