[發(fā)明專(zhuān)利]一種非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的黑磷場(chǎng)效應(yīng)管

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810261673.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108493250A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈志豪;江斌;趙劍飛;王偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 南京郵電大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01L29/78
• 分類(lèi)號(hào): H01L29/78;H01L29/10;B82Y10/00
• 代理公司: 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 呂朦

1.一種非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的黑磷場(chǎng)效應(yīng)管，其特征在于，包括：非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的導(dǎo)電溝道（2）、未摻雜的本征導(dǎo)電溝道（3）、源區(qū)（1）、漏區(qū)（4）、柵極氧化層（5）、源極（6）、漏極（7）、柵極（8）；非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的導(dǎo)電溝道（2）、未摻雜的本征導(dǎo)電溝道（3）、源區(qū)（1）、漏區(qū)（4）采用一根本征半導(dǎo)體黑磷制作而成；對(duì)本征半導(dǎo)體黑磷的兩端采用分子或金屬離子進(jìn)行第一雜質(zhì)重?fù)诫s后，分別作為源區(qū)（2）和漏區(qū)（3），本征半導(dǎo)體黑磷的中間部分分為兩部分，靠近源極（6）的部分作為非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的導(dǎo)電溝道（2），靠近漏極（7）的部分作為未摻雜的本征導(dǎo)電溝道（3），非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜導(dǎo)電溝道（2）通過(guò)第二雜質(zhì)摻雜逐漸摻雜，摻雜濃度從源極（6）側(cè)向黑磷中間線性減小；在非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的導(dǎo)電溝道（2）、未摻雜的本征導(dǎo)電溝道（3）、源區(qū)（1）、漏區(qū)（4）外生成一層?xùn)艠O氧化層（5），在柵極氧化層（5）外再沉淀一層金屬電極，作為柵極（8）；在位于源區(qū)（2）和漏區(qū)（3）之上的柵極氧化層（5）上分別刻蝕一源極引線孔和漏極引線孔，在該源極引線孔內(nèi)制備所述的源極（6），在漏極引線孔內(nèi)制備所述的漏極（7）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的黑磷場(chǎng)效應(yīng)管，其特征在于，非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜導(dǎo)電溝道（2）靠近源區(qū)（2）側(cè)的摻雜濃度為最大水平，遠(yuǎn)離源區(qū)（2）側(cè)的濃度為零。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的黑磷場(chǎng)效應(yīng)管，其特征在于，源區(qū)（2）和漏區(qū)（3）為N型重?fù)诫s，非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的導(dǎo)電溝道（2）為P型摻雜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的黑磷場(chǎng)效應(yīng)管，其特征在于，非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的導(dǎo)電溝道（2）與未摻雜的本征導(dǎo)電溝道（3）構(gòu)成完整導(dǎo)電溝道。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的黑磷場(chǎng)效應(yīng)管，其特征在于，非對(duì)稱(chēng)線性峰值摻雜的導(dǎo)電溝道（2）與未摻雜的本征導(dǎo)電溝道（3）橫向長(zhǎng)度相等。