[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于直線(xiàn)度誤差測(cè)量的高精度測(cè)頭裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810260380.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108519046B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 凌四營(yíng);李軍;于寶地;陳義磊;汪訓(xùn)練;王立鼎
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01B7/31
• 分類(lèi)號(hào): G01B7/31
• 代理公司: 大連理工大學(xué)專(zhuān)利中心 21200
• 代理人: 陳玲玉

1.一種高精度直線(xiàn)度誤差測(cè)頭裝置，其特征在于，包括：導(dǎo)軌座(1)、微位移傳遞杠桿系統(tǒng)(2)、滑塊系統(tǒng)(3)、滑塊驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(4)、側(cè)壓板(5)、上壓板(6)、蓋板(7)和側(cè)擋板(8)；

導(dǎo)軌座(1)為整體式結(jié)構(gòu)，其豎直和水平面上分別設(shè)置具有寬跨度的兩組共面的工作面(1-1，1-2)，水平面和豎直面之間的夾角與滑塊(3-2)對(duì)應(yīng)面之間的夾角相匹配；導(dǎo)軌座(1)結(jié)構(gòu)對(duì)稱(chēng)，其上設(shè)有導(dǎo)軌座安裝孔(1-3)、測(cè)頭行程槽(1-8)、電感測(cè)頭活動(dòng)槽(1-5)、微位移傳遞杠桿活動(dòng)槽(1-6)及與蓋板和側(cè)擋板連接的 螺紋孔(1-4，1-7)；導(dǎo)軌座的水平工作面(1-2)與電感測(cè)頭活動(dòng)槽(1-5)的水平中截面平行；

滑塊(3-2)為整體式對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，由對(duì)稱(chēng)設(shè)置的兩組具有跨度的滑塊工作面(3-2-1)矩形結(jié)構(gòu)組成，每組包含8個(gè)滑塊工作面，每個(gè)平面上的四個(gè)滑塊工作面共面，滑塊工作面的位置與導(dǎo)軌座(1)上的工作面相匹配；滑塊(3-2)與導(dǎo)軌座(1)配合的底面和側(cè)面為滑塊的基準(zhǔn)面，另外兩面分別與兩基準(zhǔn)面的交線(xiàn)平行，并與基準(zhǔn)面平行；滑塊工作面中間開(kāi)設(shè)油槽(3-2-3)，每組滑塊工作面的油槽與對(duì)應(yīng)側(cè)的油嘴安裝孔(3-2-4)聯(lián)通；滑塊(3-2)與導(dǎo)軌座(1)豎直面接觸的一側(cè)中間設(shè)凹槽，底面的棱邊倒45°角，倒角大小與微位移杠桿的倒角一致，為10～20mm；滑塊(3-2)上設(shè)有固定交叉簧片(1-3)的螺紋孔(3-2-2)、連接電感測(cè)頭固定座的沉頭孔(3-2-6)及用于撥桿驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)孔(3-2-5)；驅(qū)動(dòng)孔(3-2-5)位于滑塊(3-2)靠近滾珠絲杠導(dǎo)軌(4-4)的一側(cè)平面的中間位置，深度大于滑塊(3-2)寬度的一半；滑塊(3-2)與微位移傳遞杠桿系統(tǒng)(2)的交叉簧片和電感測(cè)頭的固定座連接，微位移傳遞杠桿的放大倍數(shù)在1:0.98～1之間；滑塊(3-2)的每個(gè)滑塊工作面上貼聚四氟乙烯導(dǎo)軌軟帶；

上壓板(6)和側(cè)壓板(5)的長(zhǎng)度與導(dǎo)軌座的長(zhǎng)度相同，上壓板和側(cè)壓板上分別設(shè)置的四個(gè)導(dǎo)軌面共面，且位置、結(jié)構(gòu)與導(dǎo)軌座水平面和豎直面一致；側(cè)壓板(5)中間開(kāi)槽，便于撥桿(4-2)活動(dòng)；上壓板(6)和側(cè)壓板(5)各通過(guò)兩排彈性波球螺釘壓向滑塊(3-2)，以消除滑塊(3-2)與導(dǎo)軌座(1)和上、側(cè)壓板之間的間隙；

撥桿(4-1)由滾珠絲杠導(dǎo)軌(4-4)驅(qū)動(dòng)，并與滾珠絲杠導(dǎo)軌的滑臺(tái)(4-3)剛性連接；撥桿(4-1)與滑塊(3-2)之間通過(guò)具有彈性的塑料軟套(4-2)連接；

采用步進(jìn)或伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠導(dǎo)軌(4-4)，滾珠絲杠導(dǎo)軌(4-4)上設(shè)有光電行程限位開(kāi)關(guān)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度直線(xiàn)度誤差測(cè)頭裝置，其特征在于，滑塊(3-2)前后兩側(cè)面的中下位置粘有防碰撞的橡膠墊(3-1)，防止微位移傳遞杠桿系統(tǒng)(2)與導(dǎo)軌座(3-15)碰撞并實(shí)現(xiàn)測(cè)頭行程的硬限位。