[發明專利]載置臺及載置方法

有效

• 申請號: 201810258928.8
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN108687722B
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 井出伸樹
• 申請（專利權）人: 新東超精密有限公司
• 主分類號: B25H1/02
• 分類號: B25H1/02;B25H1/18;B25H1/08
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 趙晶;高培培

提供一種能夠將工件高精度地載置于所希望的位置的載置臺及載置方法。所述載置臺為載置矩形形狀的工件的載置臺(2)，具備對載置所述工件的所述載置臺的表面(10a)的平面度進行調整的平面度調整部(4a～4x)，所述平面度調整部具備：螺栓(16)，配置于貫通所述載置臺的貫通孔(28)；第一球面墊片(18)，被所述螺栓插通，在所述載置臺的表面側且在所述貫通孔的入口配置；第二球面墊片(20)，被所述螺栓插通，在所述載置臺的背面側且在所述貫通孔的出口配置；調整螺釘(22)，配置在所述載置臺的背面側，容納所述螺栓的螺紋部；及固定螺母(24)，將所述調整螺釘固定。

技術領域

本發明涉及用于載置金屬掩模等工件的載置臺及向該載置臺載置工件的載置方法。

背景技術

以往，已知有具備對載置金屬掩模等工件的玻璃板的平面度進行調整的平面度調整機構的玻璃制測定臺(例如，參照專利文獻1)。根據該玻璃制測定臺，能夠在玻璃板沒有撓曲的狀態下將工件載置于玻璃板上來進行檢查。

【在先技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開平9-033207號公報

【發明要解決的課題】

然而，在專利文獻1等記載的玻璃制測定臺(載置臺)中，由于在檢查時將工件直接載置于玻璃板，因此存在玻璃板容易損傷的問題。因此，在玻璃板的周圍具備由陶瓷等構成的框狀的載置臺，在該載置臺上載置矩形形狀的工件并進行檢查的檢查裝置被使用。

然而，為了使用上述的檢查裝置高精度地檢查金屬掩模等矩形形狀的工件，需要使工件不變形地載置于載置臺。而且，需要以避免產生工件相對于載置臺的位置偏離及姿勢偏離的方式將工件載置于載置臺。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能夠將工件高精度地載置于所希望的位置的載置臺及向該載置臺載置工件的載置方法。

【用于解決課題的方案】

本發明的載置臺是載置矩形形狀的工件的載置臺，具備對載置所述工件的所述載置臺的表面的平面度進行調整的平面度調整部，所述平面度調整部具備：螺栓，配置于貫通所述載置臺的貫通孔；第一球面墊片，被所述螺栓插通，在所述載置臺的表面側且在所述貫通孔的入口配置；第二球面墊片，被所述螺栓插通，在所述載置臺的背面側且在所述貫通孔的出口配置；調整螺釘，配置在所述載置臺的背面側，容納所述螺栓的螺紋部；及固定螺母，將所述調整螺釘固定。

另外，本發明的載置臺是載置矩形形狀的工件的載置臺，其特征在于，所述載置臺具備對載置所述工件的所述載置臺的表面內的所述工件的位置及姿勢進行調整的位置姿勢調整部，所述位置姿勢調整部具備：升降銷，具有對于從外部搬運的所述工件進行接收載置的載置面，使所述載置面沿著與所述載置臺的表面交叉的方向升降；控制部，對載置于所述載置面的所述工件的在所述載置面內的移動進行控制；及夾緊部，使所述工件在所述載置面內移動，在調整了所述工件的位置及姿勢的狀態下支承所述工件的角部，所述控制部在所述升降銷升降期間，禁止所述工件的移動，在所述夾緊部支承所述工件期間，允許所述工件的移動。