[發(fā)明專利]傳感器器件、力檢測裝置以及機(jī)器人

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810258121.4
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN108709669A
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松沢明;河合宏紀(jì)
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G01L5/22;B25J13/08;B25J19/02
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

1.一種傳感器器件，其特征在于，具備層疊體，

所述層疊體包含：

第一壓電元件；

第二壓電元件；以及

高分子聚合物膜，位于所述第一壓電元件與所述第二壓電元件之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器器件，其特征在于，

所述高分子聚合物膜包含聚硅氧烷。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器器件，其特征在于，

所述第一壓電元件和所述第二壓電元件分別具有通過壓電效應(yīng)產(chǎn)生電荷的壓電體層和設(shè)置于所述壓電體層并輸出與所述電荷對應(yīng)的信號的電極，

所述高分子聚合物膜設(shè)置于所述第一壓電元件所具有的所述電極與所述第二壓電元件所具有的所述電極之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳感器器件，其特征在于，

所述傳感器器件具有在所述層疊體的側(cè)面設(shè)置的多個側(cè)面電極，

構(gòu)成所述側(cè)面電極的材料的至少一部分與構(gòu)成所述電極的材料的至少一部分相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器器件，其特征在于，

所述多個側(cè)面電極包含第一層和第二層，所述第一層包含鎳，所述第二層包含金。

6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任一項所述的傳感器器件，其特征在于，

所述壓電體層包含水晶。

7.根據(jù)權(quán)利要求3至6中任一項所述的傳感器器件，其特征在于，

在將所述壓電體層的厚度設(shè)為了T1、將所述高分子聚合物膜的厚度設(shè)為了T2時，滿足2.0≤T1/T2≤10000。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的傳感器器件，其特征在于，

所述傳感器器件具有收容所述層疊體的封裝體，

所述封裝體具有基部、蓋體和密封構(gòu)件，所述基部具有配置有所述層疊體的凹部，所述蓋體以封堵所述凹部的開口的方式設(shè)置，所述密封構(gòu)件接合所述基部和所述蓋體。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器器件，其特征在于，

所述密封構(gòu)件包含科瓦鐵鎳鈷合金。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的傳感器器件，其特征在于，

所述基部具有第一構(gòu)件和第二構(gòu)件，所述第二構(gòu)件與所述第一構(gòu)件接合并與所述第一構(gòu)件一起形成所述凹部，所述第一構(gòu)件的楊氏模量比所述第二構(gòu)件的楊氏模量低。

11.一種力檢測裝置，其特征在于，具備：

第一板；

第二板；以及

權(quán)利要求1至10中任一項所述的傳感器器件，設(shè)置于所述第一板與所述第二板之間。

12.一種機(jī)器人，其特征在于，具備：

基座；以及

臂，與所述基座連接，并能夠安裝權(quán)利要求11所述的力檢測裝置。