[發明專利]力檢測裝置以及機器人

在審

• 申請號: 201810255085.6
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN108731854A
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 松沢明;河合宏紀
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

1.一種力檢測裝置，其特征在于，具備：

第一板，具有連接部；

第二板；

構造體，位于所述第一板和所述第二板之間，

所述構造體具有：

傳感器裝置，具備至少一個壓電元件；

第一固定部，與所述傳感器裝置接觸，被固定于所述第一板；

第二固定部，與所述傳感器裝置接觸，被固定于所述第二板；

從所述第一板和所述第二板重疊的方向觀察，所述連接部的至少一部分與所述構造體重疊。

2.根據權利要求1所述的力檢測裝置，其特征在于，

從所述第一板和所述第二板重疊的方向觀察，所述連接部的至少一部分與所述第一固定部重疊。

3.根據權利要求1或2所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述傳感器裝置具有：層疊有多個所述壓電元件的層疊體，

所述層疊體中的多個所述壓電元件的層疊方向相對于所述第一板的板面的法線交叉。

4.根據權利要求3所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述壓電元件具有：通過壓電效果產生電荷的壓電體層、以及

設置于所述壓電體層且輸出對應于所述電荷的信號的電極。

5.根據權利要求4所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述傳感器裝置具有收容所述壓電元件的封裝，

所述封裝具有：具有配置有所述壓電元件的凹部的基部、以堵塞所述凹部的開口的方式設置的蓋體、以及將所述基部和所述蓋體接合的密封部件。

6.根據權利要求5所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述密封部件包括科瓦鐵鎳鈷合金。

7.根據權利要求5或6所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述基部具有：連接于所述第二固定部的第一部件、接合于所述第一部件且與所述第一部件一起形成所述凹部的第二部件，

所述第一部件的楊氏模量比所述第二部件的楊氏模量低。

8.根據權利要求5所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述傳感器裝置具有：設置于所述層疊體的側面的多個側面電極，

構成所述側面電極的材料的至少一部分與構成所述電極的材料的至少一部分相同。

9.根據權利要求8所述的力檢測裝置，其特征在于，

多個所述側面電極包括含有鎳的第一層和含有金的第二層。

10.根據權利要求8或9所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述傳感器裝置具有設置于所述封裝的多個連接端子，

一個所述側面電極電性連接于多個所述連接端子。

11.根據權利要求8或9所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述傳感器裝置具有：設置于所述封裝的多個連接端子，

一個所述側面電極電性連接于一個所述連接端子。

12.根據權利要求10或11所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述連接端子彼此的間隔距離比所述連接端子的寬度大。

13.根據權利要求1至12中任一項所述的力檢測裝置，其特征在于，

所述壓電元件含有晶體。

14.一種機器人，其特征在于，具備：

基臺；以及

連接于所述基臺且能安裝權利要求1至13中任一項所述的力檢測裝置的臂部。