[發明專利]壓電驅動裝置、壓電電機、機器人及電子部件輸送裝置

有效

• 申請號: 201810254672.3
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN108696180B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 巖崎友壽;荒川豊
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H02N2/06
• 分類號: H02N2/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

本申請公開了壓電驅動裝置、壓電電機、機器人及電子部件輸送裝置。本申請提供能夠穩定地進行驅動狀態的檢測的壓電驅動裝置，此外提供具有該壓電驅動裝置的壓電電機、機器人、電子部件輸送裝置以及打印機。壓電驅動裝置具備：壓電致動器，具有進行振動的振動部和從所述振動部突出的突出部；被驅動部件；光學尺；傳感器，接收來自所述光學尺的透過光或反射光，輸出基于其光接收強度的信號，所述光學尺與所述傳感器對置的對置區域配置為相對于所述突出部和所述被驅動部件接觸的接觸部向所述光學尺和所述傳感器排列的方向上的一側偏移。

技術領域

本發明為涉及壓電驅動裝置、壓電電機、機器人、電子部件輸送裝置以及打印機。

背景技術

通過壓電元件使振動體振動從而驅動被驅動部件的壓電致動器為人們所熟知(例如，參照專利文獻1)。例如，專利文獻1所記載的裝置具有可轉動的轉工作臺、產生使轉工作臺轉動的驅動力的壓電致動器、以及檢測轉工作臺的轉動角度的角度檢測單元，角度檢測單元具有碼盤以及編碼器傳感器。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2016-096187號公報

發明內容

一般情況下，用于專利文獻1所記載的這樣的裝置的壓電致動器伴隨著驅動，與被驅動部件接觸的部分可能被磨損，產生磨損粉。在專利文獻1所記載的裝置中，如上所述的磨損粉附著于碼盤或編碼器傳感器，可能產生檢測不良的問題。

本發明的目的在于，提供能夠穩定地進行驅動狀態的檢測的壓電驅動裝置，或提供具有該壓電驅動裝置的壓電電機、機器人、電子部件輸送裝置以及打印機。

通過下述本發明達成上述目的。

本發明的壓電驅動裝置的特征在于，具備：第一部件；第二部件，配置于所述第一部件的鉛直方向上側；壓電致動器，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，并具有進行振動的振動部和從所述振動部突出的突出部；被驅動部件，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，通過伴隨著所述振動部的振動的所述被驅動部件與所述突出部的接觸，從而所述被驅動部件相對于所述壓電致動器相對地改變位置或姿勢；光學尺，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，伴隨著所述被驅動部件相對于所述壓電致動器的相對的位置或姿勢的變化，所述光學尺相對于所述壓電致動器或所述被驅動部件相對地改變位置或姿勢；傳感器，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，接收來自所述光學尺的透過光或反射光，并輸出與所接收到的透過光或反射光的光接收強度對應的信號，所述光學尺的尺面和所述傳感器的傳感器面中至少一方位于所述突出部與所述被驅動部件接觸的接觸部的鉛直方向上側。

根據這樣的壓電驅動裝置，由于光學尺的尺面和傳感器的傳感器面中至少一方位于突出部與被驅動部件接觸的接觸部的鉛直方向上側，所以能夠減少伴隨著突出部以及被驅動部件的摩擦滑動在它們的接觸部產生的磨損粉到達光學尺的尺面以及傳感器的傳感器面中至少一方。其結果是，能夠通過傳感器穩定地進行驅動狀態的檢測。

本發明的壓電驅動裝置的特征在于，具備：壓電致動器，具有進行振動的振動部和從所述振動部突出的突出部；被驅動部件，通過伴隨著所述振動部的振動的所述被驅動部件與所述突出部的接觸，從而所述被驅動部件相對于所述壓電致動器相對地改變位置或姿勢；光學尺，伴隨著所述被驅動部件相對于所述壓電致動器的相對的位置或姿勢的變化，相對于所述壓電致動器或所述被驅動部件相對地改變位置或姿勢；傳感器，接收來自所述光學尺的透過光或反射光，并輸出與所接收到的透過光或反射光的光接收強度對應的信號，所述光學尺與所述傳感器對置的對置區域配置為相對于所述突出部與所述被驅動部件接觸的接觸部向所述光學尺和所述傳感器排列的方向上的一側偏移。