[發明專利]一種高精度激光器芯片老化夾具

在審

• 申請號: 201810253184.0
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN108254676A
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 胡海洋
• 申請（專利權）人: 蘇州聯訊儀器有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 邢若蘭;高之波

本發明公開了一種高精度激光器芯片老化夾具。該夾具包括一塊熱沉板、一塊印制電路板和多塊探針板；熱沉板的其中一側并排安裝有多個固定片，并且每個固定片上均設有多個芯片槽；印制電路板安裝在熱沉板的另一側上，并且印制電路板上設有多組探針孔；多塊探針板并排安裝在熱沉板上，并且每塊探針板的底部的其中一側設有多個芯片彈性探針，另一側設有一組大直徑彈性探針；其中，各芯片彈性探針分別與各芯片槽相對應，而各組大直徑彈性探針分別插入到各組探針孔中。本發明中的老化夾具能夠降低加工精度要求，提高夾具的合格率和生產效率，并避免了使用非彈性硬針可能造成的成本較高、容易損壞以及組裝困難等問題。

技術領域

本發明涉及激光器技術領域，特別涉及一種高精度激光器芯片老化夾具。

背景技術

激光器的老化測試是激光器制造中很重要的步驟，而在該步驟中需要使用老化夾具對激光器的芯片進行固加工定。用于激光器芯片的老化夾具通常是由一塊熱沉板以及放置在熱沉板上的一大塊探針板組成的，其中，熱沉板和探針板是分離的，工作的時候將探針板定位并組裝到熱沉板上。熱沉板用于放置激光器芯片，而探針板上設有多個探針，其一般為直徑較小的彈性探針，而探針分別與多個激光器芯片帶電接觸。

老化夾具一般能夠用于同時加工多個激光器芯片，比如目前最常用的老化夾具一般能夠同時加工32個激光器芯片，而多個激光器芯片都要求與同一塊探針板保持良好穩定的帶電接觸，因此對熱沉板和探針板加工精度要求極高，一般來說，彈性探針與激光器芯片相接觸的探針接觸點的面積小于0.4mm x 0.4mm時，往往就無法保證良好穩定的帶電接觸。此外，如果在探針板上設置非彈性硬針代替彈性探針與激光器芯片進行接觸，可以在一定程度上解決探針板的加工精度問題，但非彈性硬針同時也存在成本較高、容易損壞以及組裝較為復雜和困難等問題。

發明內容

為解決上述問題，本發明提供了一種高精度激光器芯片老化夾具。

根據本發明的一個方面，提供了一種高精度激光器芯片老化夾具，包括一塊熱沉板、一塊印制電路板和多塊探針板；

熱沉板的其中一側并排安裝有多個固定片，并且每個固定片上均設有多個芯片槽；

印制電路板安裝在熱沉板的另一側上，并且印制電路板上設有多組探針孔；

多塊探針板并排安裝在熱沉板上，并且每塊探針板的底部的其中一側設有多個芯片彈性探針，另一側設有一組大直徑彈性探針；

其中，各芯片彈性探針分別與各芯片槽相對應，而各組大直徑彈性探針分別插入到各組探針孔中。

本發明中的高精度激光器芯片老化夾具通過使用多塊較小的探針板代替原本的的一塊大探針板，以及在探針板上設置大直徑彈性探針將電信號導回熱沉板，減小了將彈性探針與激光器芯片相接觸的探針接觸點所需的面積，由此降低了加工精度要求，提高了夾具的合格率和生產效率，并避免了使用非彈性硬針可能造成的成本較高、容易損壞以及組裝困難等多種問題。

在一些實施方式中，熱沉板上設有多個安裝孔，而在多塊探針板上均設有分別與各安裝孔相對應的安裝通槽，安裝孔與安裝通槽通過螺釘進行安裝。由此，能夠設置將探針板安裝在熱沉板上。

在一些實施方式中，熱沉板的上方設有多根卡柱，而在多塊探針板的底部均設有分別與各卡柱相對應的卡槽。由此，設置將探針板和熱沉板卡合定位，以方便對兩者進行安裝，并且能夠進一步提高兩者之間的安裝的穩固性。

在一些實施方式中，每個固定片均通過設置在各芯片槽之間的多根螺釘安裝在熱沉板上。由此，能夠設置將固定片安裝在熱沉板上。

在一些實施方式中，印制電路板上的每組探針孔的兩側均設有一根定位柱，而在每塊探針板上均設有兩個與各定位柱相對應的定位通孔。由此，能夠對印制電路板和探針板進行定位，以方便對兩者的相應部位進行安裝和連接。