[發明專利]基于靜電吸附效應的微加速度計

有效

• 申請號: 201810253046.2
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN108469535B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 李凱;彭志輝
• 申請（專利權）人: 溫州大學
• 主分類號: G01P15/13
• 分類號: G01P15/13
• 代理公司: 溫州金甌專利事務所(普通合伙) 33237
• 代理人: 陳暉

1.一種基于靜電吸附效應的微加速度計，包括：下基底（1）、上基底（13），所述下基底（1）和所述上基底（13）之間設有活動板（6）、支撐梁（8）及其錨點（7）、支撐柱（15），其特征在于：所述微加速度計還包括下固定驅動電極（2）和上固定驅動電極（12）、下活動驅動電極（5）和上活動驅動電極（9），所述下、上固定驅動電極（2、12）位于所述下基底（1）和所述上基底（13）的內表面上，下基底（1）和上基底（13）的內表面中心設有凸臺，在所述凸臺上分別設有下固定開關電極（3）和上固定開關電極（11），所述下、上活動驅動電極（5、9）位于所述活動板（6）的下、上表面，且所述活動板的下、上表面還設有活動開關電極（4、10）, 下、上固定驅動電極（2、12）上施加占寬比均為50%、頻率相同、相位相差180°的矩形波電壓，并通過測量兩固定開關電極（3、11）與活動開關電極（4、10）閉合的時間間隔獲得加速度值。

2.根據權利要求1所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：所述下、上固定開關電極（3、11）分別位于下、上基底（1、13）的中心位置，所述下、上活動開關電極（4、10）對應位于所述活動板（6）的下、上表面的中心位置。

3.根據權利要求1或2所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：所述下、上固定開關電極（3、11）和所述下、上活動開關電極（4、10）為圓形，所述下、上固定驅動電極（2、12）和所述下、上活動驅動電極（5、9）為圓環形但并不完全閉合，以供開關電極的引線通過。

4.根據權利要求1或2所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：所述下固定驅動電極（2）和上固定驅動電極（12）表面分別覆蓋有下絕緣層（14）、上絕緣層（16），所述凸臺及其上的所述固定開關電極（3、11）高于所述絕緣層（14、16）。

5.根據權利要求1所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：所述微加速度計由所述活動板（6）和所述支撐梁（8）構成活動結構。

6.根據權利要求1或5所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：所述活動板（6）為剛性圓板。

7.根據權利要求5所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：僅有所述支撐梁（8）發生彎曲，所述活動板（6）與其表面的活動驅動電極（5、9）、活動開關電極（4、10）只作平移運動。

8.根據權利要求5所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：所述支撐梁（8）為非直梁，數目至少2根。

9.根據權利要求5所述的一種基于靜電吸附效應的微加速度計，其特征在于：所述活動板上設有若干通孔。