[發明專利]一種激光光束的調制裝置、激光封裝設備及加工方法

有效

• 申請號: 201810251539.2
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN110361868B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 陳雪影;于大維;孫建超
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B27/12;G02B26/10;H01L51/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明公開了一種激光光束的調制裝置、激光封裝設備及加工方法。該激光光束的調制裝置包括空間光束整形單元，用于對所述激光光束進行空間相位調制處理，生成相位調制激光光束；振鏡掃描單元，用于將所述相位調制激光光束轉投到待處理器件上形成激光光斑，并使激光光斑沿著處理路徑進行掃描移動；控制單元，與空間光束整形單元、振鏡掃描單元電連接，用于在激光處理過程中，根據處理路徑上各個處理點與相位調制參數的對應關系，控制所述空間光束整形單元調制照射到各個處理點的激光光斑的能量分布，該激光光束調制裝置能夠實現對應處理點的激光光束的適應性整形，消除透鏡在不同視場位置的像差的影響，提高激光處理效率和處理質量。

技術領域

本發明實施例涉及有機發光顯示領域，尤其涉及一種激光光束的調制裝置、激光封裝設備及加工方法。

背景技術

有機發光二極管具備自發光、不需要背光源、對比度高、厚度薄、視角廣、反應速度快、可用于撓曲性面板等優點，應用前景十分廣闊，被認為是下一代顯示器新興應用技術。

有機發光二極管器件的壽命易受到氧氣和水汽的影響，二者的侵入將縮短芯片使用壽命，因此有機發光顯示屏對水氧的滲透率要求很高。因而，低成本、高產率和水氧滲透率是封裝工藝設備技術發展的主要目標。

玻璃粉封裝方法是主流工藝之一，其封裝氣密性優良，且工藝成熟。有機發光顯示屏的上下基板中間按一定的路線涂覆有預燒結處理后的玻璃粉，當有激光照射在玻璃粉上后被玻璃粉吸收，光能轉化為熱能；溫度升高至玻璃粉的軟化點，實現上下蓋板和的融合。

激光封裝設備通過光束整形單元對光源產生的激光光束整形成特定形狀的光斑，經由掃描振鏡和遠心F-theta場鏡聚焦在工作面上，沿封裝線的路徑進行掃描封裝。但存在的缺陷是光束整形單元為二元光學元件或微透鏡陣列，當刻蝕或加工完成后，光束的整形方式一致，導致光斑在不同視場處的像質不同，且在視場較大的區域，會出現光斑的形貌參數變差的問題。

發明內容

本發明提供一種激光光束的調制裝置、激光封裝設備及加工方法，以實現實時在線、可動態編程控制的光斑形貌調整，提高封裝工藝的適用性。

第一方面，本發明實施例提供了一種激光光束的調制裝置，空間光束整形單元，用于對所述激光光束進行空間相位調制處理，生成相位調制激光光束；

振鏡掃描單元，用于將所述相位調制激光光束轉投到待處理器件上形成激光光斑，并使激光光斑沿著處理路徑進行掃描移動；

控制單元，與空間光束整形單元、振鏡掃描單元電連接，用于在激光處理過程中，根據處理路徑上各個處理點與相位調制參數的對應關系，控制所述空間光束整形單元調制照射到各個處理點的激光光斑的能量分布。

可選地，還包括：

光斑檢測單元，與所述控制單元電連接，用于檢測轉投到所述待處理器件上的各個處理點的激光光斑的能量分布；

所述控制單元，還用于在激光處理之前，根據所述光斑檢測單元檢測到的激光光斑的能量分布，控制所述空間光束整形單元調整相位調制參數，獲得照射到各個處理點的激光光斑的能量分布均滿足預設條件時的各個處理點與相位調制參數的對應關系。

可選地，還包括：

相位監測單元，與所述控制單元電連接，用于對所述空間光束整形單元生成的相位調制激光光束進行監測，將監測信號發送給所述控制單元；

所述控制單元，還用于根據所述監測信號計算所述相位調制激光光束相對調制前的激光光束的相位變化量，并在所述相位變化量超出預設相位變化量一定范圍時反饋異常。

可選地，所述相位監測單元包括：

第一分光棱鏡，用于從進入所述空間光束整形單元的激光光束中分出參考激光光束；