[發明專利]光器件

有效

• 申請號: 201810251327.4
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN108693665B
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發明（設計）人: 石川佳澄;高野真悟
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號: G02F1/03
• 分類號: G02F1/03;G02F1/035
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 方應星;高培培

本發明提供一種實現高性能的光調制的光器件。光器件具備：電光元件；連接器，被輸入電信號或輸出電信號；中繼基板，將連接器與光學元件電連接；一對支承部，支承中繼基板；及殼體，將連接器固定，并收容光學元件、中繼基板及一對支承部，光學元件具有在內部形成有光波導的基板和在基板的表面形成的調制電極，中繼基板具有電介質基板、在電介質基板的一個主面設置的信號電極、在所述一個主面設置的接地電極，信號電極及接地電極與調制電極及連接器電連接，一對支承部在俯視圖中夾持中繼基板，在中繼基板的另一個主面與殼體的內部底面之間形成有空隙。

技術領域

本發明涉及光器件。

背景技術

以往，作為光器件，已知有光調制器，該光調制器具有：電光元件，具有光波導和調制電極；殼體，收容電光元件；中繼基板，將從外部輸入的調制信號向調制電極傳輸(例如，參照專利文獻1)。

上述光調制器的電光元件具有如下結構：使用LiNbO₃結晶或電光高分子材料等的表現出電光效應的材料作為基板，在該基板形成光波導，在光波導上形成有調制電極。

上述光調制器的殼體具有用于從外部輸入調制信號的連接器部。連接器部具有同軸引腳。

上述光調制器的中繼基板具有電介質基板和形成在電介質基板上的電極。中繼基板在殼體內部配置于連接器部的同軸引腳與電光元件之間，將輸入到連接器部的調制信號向調制電極傳輸。

通常在這樣的光調制器中，要求將從外部輸入到連接器部的調制信號(電信號)沒有損失地向電光元件傳播。而且，伴隨著近年來的光通信的高速化，而要求應對更高的頻率的電信號的光調制器(光器件)。

在此，在調制電極的輸入輸出部及中繼基板的電極結構中，考慮到連接容易度，多使用共平面線路(Coplanar Waveguide：CPW)。

而且，在中繼基板中，多使用的是在形成有共平面線路的面的相反面上也配置導體并將一個主面側的接地電極與另一個主面側的導體連接的CBCPW(Conductor BackedCoplanar Waveguide)結構的基板。

在CBCPW結構的中繼基板中，作為傳輸特性劣化的要因之一，可列舉向電介質基板的放射損失。向電介質基板的放射損失根據中繼基板具有的電極的形狀、大小及中繼基板具有的電介質基板的介質特性而變化。

作為抑制CBCPW結構的中繼基板的放射損失的方法之一，提出了在CBCPW結構的中繼基板具有的電介質基板中，對形成有電極的面的相反側的面實施槽加工的方法(例如，參照非專利文獻1)。形成的槽在考慮中繼基板的電特性的基礎上，可以考慮作為“由低介電常數材料構成的層”。

【在先技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本專利第4027109號公報

【非專利文獻】

【非專利文獻1】Leakage Loss Analysis of Conductor Baked CoplanarWaveguide with Air-Gap-Spacing Dielectric Sheets,Hotta,et al.,IEICETRANS.ELECTRON.,vol.E85-C,NO.7,JULY 2002

發明內容

【發明的概要】

【發明要解決的課題】

然而，在非專利文獻1記載的結構中，由于對電介質基板加工微細的槽，因此會導致制造成本增加。而且，非專利文獻1記載的結構能夠適用的電介質基板的材料局限于即便實施槽加工也能夠維持機械強度的材料。因此，電介質基板的材料選擇的范圍變窄。