[發(fā)明專利]一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810247856.7
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN108212903A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設計）人: 鄭國君
• 申請（專利權(quán)）人: 鄭州金恒電子技術(shù)有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/12;F26B21/00;F26B25/00
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 李龍

1.一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備，其特征在于，包括設備主體，所述設備主體包括烘干間(1)和清洗間(2)，所述烘干間(1)位于清洗間(2)的上方，所述烘干間(1)和清洗間(2)的上方均設置有開口(11)，所述烘干間(1)的兩側(cè)面對稱設置有出風機(3)和吸風機(4)，所述清洗機的兩側(cè)面對稱設置有出水裝置(5)和汲水裝置(6)，所述設備主體的上方設置有氣壓缸(7)，所述氣壓缸(7)的伸縮桿(8)端部設置有內(nèi)部中空的長方體狀放置箱(9)；

所述放置箱(9)的一側(cè)面設置有超聲波發(fā)生器(10)，其相鄰的側(cè)面設置有開口(11)，所述放置箱(9)的內(nèi)部平行設置有多層放置架(12)，所述放置架(12)內(nèi)部中空，其一端設置有開口(11)，另一端設置有擋板(13)，所述擋板(13)中部活動設置有抽塊(14)。

2.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備，其特征在于，所述放置箱(9)的底面、放置架(12)的上面、放置架(12)的下面以及擋板(13)的材料均為網(wǎng)狀鋼材。

3.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備，其特征在于，所述出水裝置(5)包括第一水箱(15)、第一進水管(16)、第一水泵(17)以及第一出水管(18)，所述第一進水管(16)設置于第一水箱(15)內(nèi)部。

4.根據(jù)權(quán)利要求書3所述的一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備，其特征在于，所述第一出水管(18)設置于所述清洗間(2)內(nèi)部，所述第一出水管(18)從上到下依次均分成多個出水口。

5.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備，其特征在于，所述進水裝置包括第二水箱(19)、第二進水管(20)、第二水泵(21)以及第二出水管(22)。

6.根據(jù)權(quán)利要求書5所述的一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備，其特征在于，所述第一出水管(18)設置于所述清洗間(2)內(nèi)部，所述第一出水管(18)從上到下依次均分成多個入水口。

7.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種關(guān)于硅片的自動清洗烘干設備，其特征在于，所述伸縮桿(8)的圓周上設置有第一密封蓋(23)和第二密封蓋(24)，所述第一密封蓋(23)位于第二密封蓋(24)的上方。