[發(fā)明專利]帶電粒子束裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810245793.1
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN108666195B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設計）人: 荷田昌克
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28;H01J37/30
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種帶電粒子束裝置，其具有：

帶電粒子束鏡筒，其向試樣照射帶電粒子束；

試樣載臺，其包含具有基座部和相對于所述基座部繞旋轉軸線旋轉的旋轉移動部的旋轉載臺，使所述試樣相對于所述帶電粒子束鏡筒移動；

試樣支架，其以可裝卸的方式配置在所述試樣載臺的上部；

試樣支架控制部，其與所述試樣支架電連接，向所述試樣支架送出控制信號；以及

旋轉連接器，其是電連接相互相對旋轉的部件中的布線彼此的部件，與所述旋轉軸線同軸配置，插裝在所述基座部與所述旋轉移動部之間，并且以非接觸狀態(tài)插入到所述基座部的筒狀部的內部，

所述試樣支架與所述試樣支架控制部經(jīng)由所述旋轉連接器而電連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其中，

該帶電粒子束裝置還具有第一連接電極，該第一連接電極配置在所述試樣載臺的上部，與所述旋轉連接器電連接，

所述試樣支架具有能夠與所述第一連接電極接觸分離的第二連接電極、對所述試樣進行保持的試樣保持部、以及移動所述試樣保持部的支架側移動載臺，

所述試樣支架的所述第二連接電極與所述第一連接電極電連接，由此，所述試樣支架控制部經(jīng)由所述旋轉連接器向所述試樣支架送出控制信號。

3.根據(jù)權利要求2所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述支架側移動載臺包含

以第一軸線和與所述第一軸線垂直的第二軸線為中心轉動的2軸傾斜載臺。

4.根據(jù)權利要求2或3所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述試樣載臺具有支架固定部，該支架固定部以將所述試樣支架的所述第二連接電極按壓在所述第一連接電極上的狀態(tài)固定所述試樣支架的位置。

5.根據(jù)權利要求1至3中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其中，

所述帶電粒子束鏡筒設置有多個。