[發(fā)明專利]一種金屬薄膜制備工藝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810243020.X | 申請(qǐng)日: | 2018-03-23 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108428765A | 公開(公告)日: | 2018-08-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 白安洋;陳柏?zé)?/a>;于洋 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 北京夢(mèng)之墨科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100081 北京市海淀區(qū)*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 金屬薄膜 基材 母材 導(dǎo)電溶液 制備工藝 制備金屬薄膜 成分穩(wěn)定 化學(xué)組成 綠色環(huán)保 外加電源 真空環(huán)境 結(jié)晶度 自驅(qū)動(dòng) 膜層 制膜 擴(kuò)散 移動(dòng) | ||
1.一種金屬薄膜制備工藝,其特征在于,包括:
將母材與基材置于同一導(dǎo)電溶液中,并保持所述母材與基材之間相接觸;
通過所述導(dǎo)電溶液中電子的移動(dòng),驅(qū)使所述母材在所述基材上擴(kuò)散,形成金屬薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備方法,其特征在于,所述導(dǎo)電溶液中的電子的移動(dòng)通過施加電源電壓產(chǎn)生;其中,電源正極置于所述導(dǎo)電溶液中,且不與所述母材和基材接觸;電源負(fù)極與所述基材接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,所述電源負(fù)極與所述基材遠(yuǎn)離所述母材的一側(cè)接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,所述電源電壓的電極采用惰性電極;
所述電源電壓為直流電源、能提供直流電的電源、脈沖電源中的一種;
所述電源電壓的范圍在0~2000V;
單位時(shí)間內(nèi)所述金屬薄膜的厚度與所述電源電壓的電流大小相關(guān),所述電流越大,所述金屬薄膜的厚度越高。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,所述導(dǎo)電液體為濃度在0.01~5mol/L范圍內(nèi)的離子溶液;所述離子溶液為酸溶液、堿溶液或鹽溶液;或者,所述導(dǎo)電溶液為活性金屬與液體發(fā)生電解反應(yīng)中的電解溶液。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,所述活性金屬選用鋁粉。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,所述母材為鎵、鎵銦任意配比的合金或鎵銦硒任意配比的合金,或所述母材為鎵鋁混合物、鎵銦任意配比合金與鋁的混合物、鎵銦硒任意配比合金與鋁的混合物,且雜質(zhì)含量少于0.001%。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,所述基材為銅箔、銅塊、銅板或表面鍍銅的任意材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,形成的所述金屬薄膜的化學(xué)組成為CuGaa;其中,0<a≤7。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,形成的所述金屬薄膜的化學(xué)組成為CuGabInc,其中,0<b≤7,0<c≤7。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,形成的所述金屬薄膜的化學(xué)組成為CuGadIneSef,其中,0<d≤7,0<e≤7,0<f≤7。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,在將母材與基材置于同一導(dǎo)電溶液中之前,還包括:去除基材表面污物和氧化物。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,在形成金屬薄膜之后,還包括:
對(duì)所述金屬薄膜采用去離子水清洗,再通過50~70℃高純惰性氣體吹干表面。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬薄膜制備工藝,其特征在于,選用不同的母材,交替應(yīng)用所述制備工藝,形成復(fù)合金屬薄膜
所述復(fù)合金屬薄膜由CuGaa、CuGabInc、CuGadIneSef中任意組合。
15.一種薄膜太陽能電池前體,其特征在于,所述薄膜太陽能電池前體采用如權(quán)利要求1-14任一項(xiàng)所述的金屬薄膜制備工藝制備。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





