[發(fā)明專利]電子探針顯微分析儀及存儲介質(zhì)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810239416.7 | 申請日： | 2018-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN109216142B | 公開（公告）日： | 2020-06-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 坂前浩 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | H01J37/05 | 分類號： | H01J37/05;H01J37/252;G01N23/2252 |
| 代理公司： | 上海立群專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 楊楷;毛立群 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電子探針 顯微 分析 存儲 介質(zhì) | ||
1.一種電子探針顯微分析儀，其特征在于，具備：
電子束照射部，將電子束照射至試樣而使試樣產(chǎn)生X射線；
能量色散型X射線分光器，檢測從試樣產(chǎn)生的X射線以獲取第1光譜數(shù)據(jù)；
波長色散型X射線分光器，檢測從試樣產(chǎn)生的X射線以獲取第2光譜數(shù)據(jù)；
相分布圖生成處理部，基于針對試樣表面上的測量區(qū)域內(nèi)的各像素獲取的所述第1光譜數(shù)據(jù)，生成所述測量區(qū)域內(nèi)的試樣中的物質(zhì)的相分布圖；
組分信息獲取處理部，相應(yīng)于所述相分布圖的各相，基于針對所述測量區(qū)域內(nèi)的代表性像素在試樣上所處的位置獲取的所述第2光譜數(shù)據(jù)，獲取各相的元素組分信息。
2.如權(quán)利要求1所述的電子探針顯微分析儀，其特征在于，還具備顯示圖像生成處理部，使由所述組分信息獲取處理部獲取的各相的元素組分信息反映于所述相分布圖的各相并生成顯示圖像。
3.如權(quán)利要求1所述的電子探針顯微分析儀，其特征在于，還具備X射線強(qiáng)度圖生成處理部，基于由所述組分信息獲取處理部獲取的各相的元素組分信息，對于檢測出的各元素，與所述波長色散型X射線分光器的峰波長條件相匹配地測量所述測量區(qū)域內(nèi)的各像素的X射線強(qiáng)度，由此生成X射線強(qiáng)度圖。
4.如權(quán)利要求3所述的電子探針顯微分析儀，其特征在于，還具備：
平均值計算處理部，基于所述X射線強(qiáng)度圖，計算各相的范圍內(nèi)的像素的峰波長的X射線強(qiáng)度的平均值；
平均元素濃度計算處理部，對由所述平均值計算處理部計算的峰波長的X射線強(qiáng)度的平均值與濃度已知情況下的峰波長的X射線強(qiáng)度進(jìn)行比較，由此計算各相的平均元素濃度。
5.如權(quán)利要求4所述的電子探針顯微分析儀，其特征在于，
所述X射線強(qiáng)度圖生成處理部，基于由所述組分信息獲取處理部獲取的各相的元素組分信息，對于檢測出的各元素，與所述波長色散型X射線分光器的峰波長條件以及背景波長條件相匹配地分別測量所述測量區(qū)域內(nèi)的各像素的峰波長以及背景波長的X射線強(qiáng)度，由此生成峰波長的X射線強(qiáng)度圖以及背景波長的X射線強(qiáng)度圖，
所述平均值計算處理部，基于所述峰波長的X射線強(qiáng)度圖以及背景波長的X射線強(qiáng)度圖，分別計算各相的范圍內(nèi)的像素的峰波長的X射線強(qiáng)度的平均值以及背景波長的X射線強(qiáng)度的平均值，
所述平均元素濃度計算處理部，對從由所述平均值計算處理部計算的峰波長的X射線強(qiáng)度的平均值減去背景波長的X射線強(qiáng)度的平均值的結(jié)果與濃度已知情況下的峰的高度進(jìn)行比較，由此計算各相的平均元素濃度。
6.一種存儲介質(zhì)，存儲用于電子探針顯微分析儀的數(shù)據(jù)處理程序，作為相分布圖生成處理部與組分信息獲取處理部使計算機(jī)運行，
所述電子探針顯微分析儀具備：電子束照射部，將電子束照射至試樣而使試樣產(chǎn)生X射線；能量色散型X射線分光器，檢測從試樣產(chǎn)生的X射線以獲取第1光譜數(shù)據(jù)；波長色散型X射線分光器，檢測從試樣產(chǎn)生的X射線以獲取第2光譜數(shù)據(jù)，
所述相分布圖生成處理部，基于針對試樣表面上的測量區(qū)域內(nèi)的各像素獲取的所述第1光譜數(shù)據(jù)，生成所述測量區(qū)域內(nèi)的試樣中的物質(zhì)的相分布圖，
所述組分信息獲取處理部，相應(yīng)于所述相分布圖的各相，基于針對所述測量區(qū)域內(nèi)的代表性像素在試樣上所處的位置獲取的所述第2光譜數(shù)據(jù)，獲取各相的元素組分信息。
7.如權(quán)利要求6所述的存儲介質(zhì)，其特征在于，所述存儲介質(zhì)作為顯示圖像生成處理部使計算機(jī)運行，所述顯示圖像生成處理部使由所述組分信息獲取處理部獲取的各相的元素組分信息反映于所述相分布圖的各相并生成顯示圖像。
8.如權(quán)利要求6所述的存儲介質(zhì)，其特征在于，所述存儲介質(zhì)作為X射線強(qiáng)度圖生成處理部使計算機(jī)運行，所述X射線強(qiáng)度圖生成處理部，基于由所述組分信息獲取處理部獲取的各相的元素組分信息，對于檢測出的各元素，與所述波長色散型X射線分光器的峰波長條件相匹配地測量所述測量區(qū)域內(nèi)的各像素的X射線強(qiáng)度，由此生成X射線強(qiáng)度圖。
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