[發明專利]帶電粒子束裝置以及試樣加工方法

有效

• 申請號: 201810239287.1
• 申請日: 2018-03-22
• 公開（公告）號: CN108666196B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 酉川翔太;大西毅
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;G01N1/28
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種帶電粒子束裝置，其朝向試樣照射帶電粒子束，制成微小試樣片，其特征在于，其具有：

帶電粒子束鏡筒，其能夠朝向所述試樣照射帶電粒子束；

試樣室，其收納所述帶電粒子束鏡筒；以及

試樣片支架，其能夠保持所述試樣，

在通過所述帶電粒子束形成減小了所述試樣的一部分區域的厚度的微小試樣片時，在該微小試樣片的根部分形成傾斜的傾斜部，

所述傾斜部被設置在微小試樣片的到根部分的范圍內，由此形成為在為了減輕通過所述帶電粒子束形成所述微小試樣片時產的加工條紋而向所述微小試樣片照射氬離子束時，在所述微小試樣片的根部分也不妨礙氬離子束，

通過從與所述帶電粒子束相交且與所述傾斜部平行的方向向所述微小試樣片照射氬離子束，從而在所述微小試樣片的整個區域減輕加工條紋。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述傾斜部是參照掃描型電子顯微鏡所獲得的所述傾斜部的SEM圖像而形成的。

3.一種試樣加工方法，其是朝向試樣照射帶電粒子束，制成減小了所述試樣的一部分區域的厚度的微小試樣片的試樣加工方法，其特征在于，其具有傾斜部形成工序，

在該傾斜部形成工序中，通過所述帶電粒子束的照射，沿所述試樣的厚度方向重疊形成多個去除區域，所述去除區域具有沿所述厚度方向的規定的加工厚度和沿與所述厚度方向垂直的寬度方向的加工寬度，每次重疊所述去除區域時階段地減小所述加工寬度，由此在與所述微小試樣片的減薄部分相鄰的部分形成相對于所述減薄部分傾斜的傾斜部，

所述傾斜部被設置在微小試樣片的到根部分的范圍內，由此形成為在為了減輕通過所述帶電粒子束形成所述微小試樣片時產的加工條紋而向所述微小試樣片照射氬離子束時，在所述微小試樣片的根部分也不妨礙氬離子束，

所述試樣加工方法還具有氬離子束照射工序，在該氬離子束照射工序中，通過從與所述帶電粒子束相交且與所述傾斜部平行的方向向所述微小試樣片照射氬離子束，從而在所述微小試樣片的整個區域減輕加工條紋。

4.根據權利要求3所述的試樣加工方法，其特征在于，

所述傾斜部形成工序中的各個去除區域的所述加工厚度和所述加工寬度是參照掃描型電子顯微鏡所獲得的所述傾斜部的SEM圖像而確定的。

5.根據權利要求4所述的試樣加工方法，其特征在于，

所述試樣是在基材的內部沿所述厚度方向重疊多個埋設層而形成的，

在所述傾斜部形成工序中，使用所述SEM圖像對所述傾斜部中露出的所述埋設層的數量進行計數，來確定加工終點。

6.根據權利要求3至5中的任意一項所述的試樣加工方法，其特征在于，

在所述傾斜部形成工序中，使所述減薄部分和作為與所述減薄部分相鄰的部分的傾斜部相互在10°以上且小于90°的范圍內傾斜。