[發明專利]膜厚測定方法和膜厚測定裝置

有效

• 申請號: 201810236094.0
• 申請日: 2018-03-21
• 公開（公告）號: CN108627105B
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 三浦真德;高柳順
• 申請（專利權）人: 豐田自動車株式會社
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 張軼楠;段承恩

1.一種膜厚測定方法，包括：

沿著預先確定的輸送路徑輸送形成了成為測定對象的膜的片材的步驟；

對沿著所述輸送路徑輸送的片材沿厚度方向照射太赫茲波的步驟；

接收在所述片材反射后的太赫茲波，隨時間變化地記錄所接收到的太赫茲波的強度而得到掃描波形的步驟；

配合照射所述太赫茲波的步驟，對沿著所述輸送路徑輸送的所述片材在厚度方向上的移位速度進行測定的步驟；

基于所述片材在厚度方向上的移位速度，對所述掃描波形進行修正的步驟；以及

基于在修正后的掃描波形中出現的所述太赫茲波的強度的峰值，算出形成于所述片材的膜的厚度的步驟。

2.根據權利要求1所述的膜厚測定方法，

在對所述掃描波形進行修正的步驟中，基于記錄了所述片材在厚度方向上的移位速度與所述掃描波形在時間軸上的誤差的關系的修正映射，對所述掃描波形進行修正。

3.一種膜厚測定裝置，具備：

輸送裝置；

太赫茲掃描裝置；

移位傳感器；以及

膜厚運算裝置，

所述輸送裝置構成為沿著預先確定的輸送路徑輸送片材，

所述太赫茲掃描裝置具備：

照射部，其構成為對沿著所述輸送路徑輸送的片材沿厚度方向照射太赫茲波；

接收部，其構成為接收從所述輸送路徑反射后的太赫茲波；以及

掃描波形獲取部，其構成為隨時間變化地記錄在所述接收部接收到的太赫茲波的強度而得到掃描波形，

所述移位傳感器構成為在與所述太赫茲掃描裝置向所述輸送路徑照射太赫茲波的一側相反的一側對片材在厚度方向上的移位進行檢測，

所述膜厚運算裝置具備：

第1處理部，其設定成基于通過所述移位傳感器得到的檢測信號，得到沿著所述輸送路徑輸送的所述片材在厚度方向上的移位速度；

第2處理部，其設定成基于所述移位速度，對由所述太赫茲掃描裝置得到的掃描波形進行修正；以及

第3處理部，其設定成基于由所述第2處理部修正后的掃描波形中出現的所述太赫茲波的強度的峰值，算出形成于所述片材的膜的膜厚。

4.根據權利要求3所述的膜厚測定裝置，

所述膜厚運算裝置具備記錄了修正映射的記錄部，所述修正映射記錄了片材在厚度方向上的移位速度與掃描波形在時間軸上的誤差的關系，

在所述第2處理部中，基于所述記錄部中記錄的所述修正映射，對掃描波形進行修正。