[發明專利]一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法

有效

• 申請號: 201810236004.8
• 申請日: 2018-03-21
• 公開（公告）號: CN108438262B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 李躍華;張佶;王利桐;付銅玲
• 申請（專利權）人: 天津航天機電設備研究所
• 主分類號: B64G7/00
• 分類號: B64G7/00
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 楊慧玲

1.一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法，其特征在于：包括以下步驟:

(10)、準備六個支撐機構、高度計、雙軸水平儀及一配重塊，支撐機構為高度可調支撐機構；

(20)、在氣浮平臺上設定1#-6#共六個支撐點，該六個支撐點呈方形矩陣布置，其中，1#、2#、3#支撐點為第一組，4#、5#和6#支撐點為第二組，每一個支撐機構各自對應一個支撐點放置，通過該六個支撐機構共同支撐氣浮平臺；

(30)、應用高度計測量出1#-6#六個支撐點獨自放置配重塊時高度變化量，記為A:

A＝[σ₁ σ₂ σ₃ σ₄ σ₅ σ₆]；

(40)、下落第一組中的一個支撐機構，下落第二組中的兩個支撐機構，氣浮平臺由呈三角形布置的三個支撐機構支撐，調整該三個支撐機構，使得氣浮平臺X、Y向水平度分別在設定范圍內，同時通過高度計記錄此時1#-6#六個支撐點高度值，記為D₀：

D₀＝[d₁ d₂ d₃ d₄ d₅ d₆]；

(50)、順次頂升第二組中下落的兩個支撐機構，并調節該兩個支撐機構頂升高度，保證每一個新頂升支撐機構對應支撐點高度變化量在設定范圍內，然后下落該第二組中在步驟(40)中起支撐作用的支撐機構，氣浮平臺由三點支撐變為四點支撐，通過高度計測量1#-6#各個支撐點的高度值，保證每個測量值相對于各自對應D₀的變化量在10um內；

(60)、頂升第一組在步驟(40)中下落的支撐機構，頂升第二組在步驟(50)中下落的支撐機構，同時調節該步驟中兩個新頂升的支撐機構，通過高度計測量該新頂升的支撐機構對應支撐點高度值，保證該測得高度值和步驟(40)中該支撐點高度值D₀相比較變化量為0.4-0.6A，此時氣浮平臺由四點支撐變為六點支撐。

2.根據權利要求1所述的一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法，其特征在于：步驟(40)中，第一組支撐機構中的2#支撐機構下落，第二組支撐機構中的4#和6#支撐機構下落，剩下對氣浮平臺進行支撐的三個支撐機構呈等腰三角形布置。

3.根據權利要求2所述的一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法，其特征在于：步驟(50)中，每一個新頂升支撐機構對應支撐點高度變化量為0.75(σ₄+σ₆)。

4.根據權利要求1或2或3所述的一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法，其特征在于：在步驟(50)-(60)間，還設有以下步驟：

(55)、分別對四個支撐機構進行微調，確保該四個支撐點處高度與各自對應的D₀的變化量在2um內。

5.根據權利要求1所述的一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法，其特征在于：步驟(40)中，氣浮平臺X、Y向水平度在0.5角秒內。

6.根據權利要求1所述的一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法，其特征在于：所述配重塊重量為1000kg。

7.根據權利要求1所述的一種基于六點支撐的氣浮平臺調平方法，其特征在于：所述高度計設有六個，每個高度計各自和一個支撐點對應。