[發(fā)明專利]一種殘留氣體清除裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810235967.6 | 申請日： | 2018-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN108490128A | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 楊斌 | 申請（專利權(quán)）人： | 楊斌 |
| 主分類號： | G01N33/00 | 分類號： | G01N33/00;F17D3/01;F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京金蓄專利代理有限公司 11544 | 代理人： | 洪濤 |
| 地址： | 610000 四川省成都市成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體傳感器 微型真空泵 樣氣 檢測氣 進氣端 電池組 電源輸入端 電子流量計 殘留氣體 電源開關 清除裝置 液晶面板 主控板 樣氣氣路 依次連接 單向閥 電連接 管道壁 排氣端 自密封 抽氣 測量 抽出 殘留 | ||
1.一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述裝置包括微型真空泵(1)、樣氣進氣端(6)、氣體傳感器檢測氣室(7)、樣氣氣路排氣端(10)、電子流量計(9)、電源輸入端(11)、電池組(12)、主控板(13)、液晶面板(8)和電源開關(14)；
所述樣氣進氣端(6)、氣體傳感器檢測氣室(7)和微型真空泵(1)通過管道依次連接；所述管道的一端為樣氣進氣端(6)，另一端為樣氣氣路排氣端(10)；
所述氣體傳感器檢測氣室(7)和微型真空泵(1)之間設有電子流量計(9)；
所述主控板(13)分別與與微型真空泵(1)、氣體傳感器檢測氣室(7)、電子流量計(9)、電源輸入端(11)、電池組(12)、液晶面板(8)和電源開關(14)電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述氣體傳感器檢測氣室(7)和微型真空泵(1)之間設有單向閥(2)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述樣氣進氣端(6)、氣體傳感器檢測氣室(7)、微型真空泵(1)和樣氣氣路排氣端(10)通過管道依次連接。
4.如權(quán)利要求1所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述裝置還包括三通接頭(3)，所述三通接頭(3)設置在管道上，一端連接氣體傳感器檢測氣室(7)，一端連接微型真空泵(1)，另一端通過單向閥(2)、電子流量計(9)和樣氣氣路排氣端(10)排出氣體。
5.如權(quán)利要求4所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述三通接頭(3)和微型真空泵(1)之間設有單向閥(2)。
6.如權(quán)利要求1所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述裝置還包括三通氣路連接件(5)，所述三通氣路連接件(5)設置在管道上，內(nèi)部設有多路通道，一路連接氣體傳感器檢測氣室(7)，一路連接電磁閥(4)，另一路通過單向閥(2)、電子流量計(9)和樣氣氣路排氣端(10)排出氣體。
7.如權(quán)利要求6所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述三通氣路連接件(5)還設有連接微型真空泵(1)和電磁閥(4)的通孔。
8.如權(quán)利要求1所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述電池組(12)連接外接電源，用于為裝置進行供電。
9.如權(quán)利要求1所述的一種殘留氣體清除裝置，其特征在于，所述液晶面板(8)上顯示裝置運行數(shù)據(jù)；所述電源開關用于控制裝置啟停。
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