[發明專利]微型氣敏傳感器及其制備方法在審
| 申請號: | 201810233719.8 | 申請日: | 2018-03-21 |
| 公開(公告)號: | CN108802111A | 公開(公告)日: | 2018-11-13 |
| 發明(設計)人: | 李青;王麗莎;李赫然;王忠輝 | 申請(專利權)人: | 北京旭碳新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | G01N27/12 | 分類號: | G01N27/12 |
| 代理公司: | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王偉鋒;劉鐵生 |
| 地址: | 100081 北京市海淀區杏石*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 微型氣敏傳感器 制備 石墨烯分散液 基底 銅箔 連接線 石墨烯粉體 高溫粘膠 絲網印刷 印刷覆膜 靈敏度 可測試 烘干 銀漿 預制 響應 | ||
1.一種微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,其包括:
制備石墨烯粉體;
制備石墨烯分散液;
通過高溫粘膠將銅箔粘接到基底上;
通過絲網印刷將所述的石墨烯分散液在基底的預制區域上印刷覆膜;
通過銀漿將連接線連接至所述銅箔,烘干,得到微型氣敏傳感器。
2.根據權利要求1所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的制備石墨烯粉體是將鱗片石墨通過高溫高壓法制備。
3.根據權利要求1所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的石墨烯粉體的層數為3-8層,比表面積200-400m2/g。
4.根據權利要求1所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的制備石墨烯分散液,其包括:將石墨烯粉體與分散助劑、水混合,高剪切分散研磨,得到石墨烯分散液。
5.根據權利要求4所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的分散助劑為聚乙烯吡絡烷酮、阿拉伯膠和十二烷基苯磺酸鈉;其中所述的聚乙烯吡絡烷酮占石墨烯分散液的重量百分比為1-3%,所述的阿拉伯膠占石墨烯分散液的重量百分比為1-3%,所述的十二烷基苯磺酸鈉占石墨烯分散液的重量百分比為1-3%;
所述的混合包括攪拌和超聲;
所述的高剪切分散研磨的轉速為2000-5000rps,剪切速率10000-60000S-1,剪切研磨時間為5-10h。
6.根據權利要求1所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的石墨烯分散液的濃度為0.1-5wt%。
7.根據權利要求1所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的基底為氧化鋁基底,厚度為0.1-1mm。
8.根據權利要求1所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的絲網印刷的條件包括:絲網是聚酯絲網,刮板角度45-60℃,網板目數300-400目,印刷速度為0.5-3cm/s。
9.根據權利要求1所述的微型氣敏傳感器的制備方法,其特征在于,所述的印刷覆膜的膜厚為0.1-1mm。
10.一種微型氣敏傳感器,其特征在于,由權利要求1-9任一項所述的方法制備而得;所述的微型氣敏傳感器對二氧化氮的響應時間為3-6s,響應濃度為5-10ppm。
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