[發(fā)明專利]一種利用芯殼玻璃澆注和飛秒激光直寫技術(shù)制備磁光平面波導(dǎo)的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810232805.7 | 申請(qǐng)日： | 2018-03-21 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108490538B | 公開（公告）日： | 2021-02-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳秋玲;王暉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 河南工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G02B6/12 | 分類號(hào)： | G02B6/12;G02B6/136 |
| 代理公司： | 鄭州明德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 41152 | 代理人： | 張獻(xiàn)偉 |
| 地址： | 450001 河南省鄭州市高新技*** | 國省代碼： | 河南;41 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 玻璃 澆注 激光 技術(shù) 制備 平面 波導(dǎo) 方法 | ||
1.一種利用芯殼玻璃澆注和飛秒激光直寫技術(shù)制備磁光平面波導(dǎo)的方法，其特征在于，包括如下步驟：
1）制備磁光殼玻璃：以PbO,Bi2O3及B2O3 為原料按照35%，45%和20%的摩爾比計(jì)算、稱量30g攪拌均勻后放入100%Al2O3坩堝內(nèi)900℃融化1小時(shí)，然后快速澆注至銅板上形成玻璃，玻璃冷卻至室溫后280℃退火2小時(shí)并進(jìn)行研磨拋光；
2）制備微通道：設(shè)計(jì)繪制磁光波導(dǎo)圖案導(dǎo)入激光系統(tǒng)，用NA為0.6的40倍物鏡和520μm狹縫將入射激光聚焦于樣品，按圖案移動(dòng)脈沖寬度為100飛秒，20mW波長為514nm的激光束，設(shè)定標(biāo)記速度和跳轉(zhuǎn)速度均為250mm/s，產(chǎn)生直徑為2.7μm光斑，在X軸方向以100-250mm/s的速度移動(dòng)樣品，激光以100kHz的重復(fù)頻率和0.1W-0.5W的功率在Y方向以5微米的間距重復(fù)掃描1?3000次，以吹氣裝置和超聲波去離子水震蕩輔助去除燒蝕玻璃碎屑，最后在280-300℃下退火120分鐘即得20-50微米寬，20-30微米深的微通道；
3）熔融澆注芯玻璃至微通道：以PbO,Bi2O3及B2O3為原料按照55%，35%和10%的摩爾比計(jì)算、稱量15g攪拌均勻后放入100%Al2O3坩堝內(nèi)900℃融化1小時(shí)，快速澆注至260℃預(yù)熱的殼玻璃表面，290℃退火2小時(shí)，冷卻至室溫后小心研磨除去表面芯玻璃層，生成磁光平面波導(dǎo)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述磁光波導(dǎo)圖案依據(jù)實(shí)際需要可自行設(shè)計(jì)，方便易行。
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