[發(fā)明專(zhuān)利]流量傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810232154.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108375399A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫賽賽;胡慧珊;馬碩;王新亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州原位芯片科技有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01F1/688
• 分類(lèi)號(hào): G01F1/688
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 李明

1.一種流量傳感器，其特征在于，包括：

襯底；

加熱元件，形成在所述襯底上；

至少一個(gè)感溫元件，形成在所述襯底上，且所述感溫元件與所述加熱元件之間具有預(yù)定的間隔，以通過(guò)測(cè)量所述感溫元件或加熱元件的溫度變化獲取流經(jīng)所述流量傳感器的流體的流量；

親水層，所述親水層覆蓋整個(gè)流量傳感器的外表面，以抑制所述流體中的氣泡粘附在所述流量傳感器的外表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量傳感器，其特征在于，所述親水層的制作材料包括納米化聚酰亞胺、羥基、氨基和羧基親水物質(zhì)中的任意一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量傳感器，其特征在于，所述親水層的厚度為0.01～10μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量傳感器，其特征在于，所述流量傳感器包括兩個(gè)所述感溫元件，兩個(gè)所述感溫元件對(duì)稱(chēng)設(shè)置在所述加熱元件的兩側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量傳感器，其特征在于，還包括：

第一保護(hù)層，其形成在所述襯底上；并且，

所述加熱元件和各所述感溫元件均形成在所述第一保護(hù)層的背離所述襯底的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流量傳感器，其特征在于，還包括：

第二保護(hù)層，其設(shè)置在所述第一保護(hù)層的背離所述襯底的一側(cè)，且所述第二保護(hù)層完全覆蓋所述加熱元件和各所述感溫元件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流量傳感器，其特征在于，

所述第一保護(hù)層的制作材料包括聚酰亞胺、氮化硅、二氧化硅和氧化鉿中的任意一種；和/或，

所述第二保護(hù)層的制作材料包括聚對(duì)二甲苯、二氧化硅、氧化鋁、氮化硅和SU-8光刻膠中的任意一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流量傳感器，其特征在于，

所述第一保護(hù)層的厚度為0.01～10μm；和/或，

所述第二保護(hù)層的厚度為0.01～10μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的流量傳感器，其特征在于，

所述加熱元件的制作材料包括金、銅、鉑和鎳中的任意一種；和/或，

所述感溫元件的制作材料包括金、銅、鉑和鎳中的任意一種。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的流量傳感器，其特征在于，所述襯底的制作材料包括氮化鎵、砷化鎵、石英和硅中的任意一種；和/或，

所述襯底的厚度為50～500um。