[發明專利]OLED器件的制作方法有效
| 申請號: | 201810232021.4 | 申請日: | 2018-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN108417738B | 公開(公告)日: | 2019-12-24 |
| 發明(設計)人: | 邴一飛 | 申請(專利權)人: | 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56 |
| 代理公司: | 44265 深圳市德力知識產權代理事務所 | 代理人: | 林才桂;程曉 |
| 地址: | 518132 廣東省深*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 陰極接觸層 陰極層 陰極接觸 電子傳輸層 電導通 陽極層 電勢 施加 像素定義層 電場 襯底基板 電壓電流 亮度不均 像素開口 制作過程 電勢差 正電壓 導電 擊穿 壓降 相等 制作 延伸 | ||
1.一種OLED器件的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:
步驟S1、提供襯底基板(10),在襯底基板(10)上形成相間隔的陽極層(21)和陰極接觸層(30);
步驟S2、在襯底基板(10)、陽極層(21)及陰極接觸層(30)上形成像素定義層(40),所述像素定義層(40)在所述陽極層(21)上圍出像素開口(41)并在所述陰極接觸層(30)上方對應設有陰極接觸孔(45);
步驟S3、在所述陽極層(21)上由下至上依次形成空穴注入層(24)、空穴傳輸層(25)、發光層(26)及電子傳輸層(27),所述電子傳輸層(27)從所述像素開口(41)內延伸到陰極接觸孔(45)內并與所述陰極接觸層(30)相接觸;
步驟S4、在所述電子傳輸層(27)上形成陰極層(23),所述陰極層(23)覆蓋陰極接觸層(30),所述電子傳輸層(27)將陰極層(23)與陰極接觸層(30)間隔開;
步驟S5、對所述陽極層(21)和陰極層(23)施加相等電勢的電壓,同時對陰極接觸層(30)施加電勢小于陰極層(23)電勢的電壓,使陰極接觸層(30)和陰極層(23)之間形成電勢差,所述電子傳輸層(27)在電場的作用下被擊穿而導電,從而使所述陰極層(23)和陰極接觸層(30)電導通;
所述步驟S3中,所述電子傳輸層(27)由蒸鍍材料通過蒸鍍法制作形成。
2.如權利要求1所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述步驟S5中,所述陰極接觸層(30)和陰極層(23)之間形成的電勢差為10V-30V。
3.如權利要求2所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述步驟S5中,保持所述陰極接觸層(30)和陰極層(23)存在電勢差的狀態5分鐘-30分鐘。
4.如權利要求2所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述步驟S5中,對所述陽極層(21)和陰極層(23)施加的電壓為10V-30V,對所述陰極接觸層(30)施加的電壓為-20V-20V。
5.如權利要求1所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述步驟S3中,所述空穴注入層(24)、空穴傳輸層(25)及發光層(26)分別采用蒸鍍法或噴墨打印法制作形成。
6.如權利要求1所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述陽極層(21)和陰極接觸層(30)的材料為親水性的導電材料,所述像素定義層(40)的材料為疏水性材料。
7.如權利要求1所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述步驟S3中,所述空穴注入層(24)、空穴傳輸層(25)及發光層(26)形成于所述像素開口(41)內。
8.如權利要求1所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述陰極接觸層(30)通過像素定義層(40)同時與陽極層(21)、空穴注入層(24)、空穴傳輸層(25)、發光層(26)分離。
9.如權利要求1所述的OLED器件的制作方法,其特征在于,所述步驟S1中,所述陽極層(21)和陰極接觸層(30)之間相隔10μm-20μm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
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