[發明專利]一種太陽能級硅片及其生產方法有效
| 申請號: | 201810231704.8 | 申請日: | 2018-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN108357002B | 公開(公告)日: | 2020-03-27 |
| 發明(設計)人: | 劉坤;曾磊;張良恒;張鵬飛;張健 | 申請(專利權)人: | 山東大海新能源發展有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04;B28D5/00 |
| 代理公司: | 濟南千慧專利事務所(普通合伙企業) 37232 | 代理人: | 王寬 |
| 地址: | 257300 山東省東營市*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽 能級 硅片 及其 生產 方法 | ||
1.一種太陽能級硅片,其特征在于,所述太陽能級硅片的至少一個表面上設有多個溝槽(1);位于同一表面上的多個所述溝槽(1)之間相互平行,所述太陽能級硅片的上表面(2)和下表面(3)之間相互平行;
其中,每個所述溝槽(1)的形狀為直線型、或曲線型;所述溝槽(1)的切面形狀為弧形,弧形的弦長為0.1~0.4mm;
和/或,每個所述溝槽(1)的最大深度小于15,
和/或,相鄰兩個所述溝槽(1)相鄰邊緣之間的距離為0.1—0.8mm;
所述太陽能級硅片的技術參數為:
形狀為方形,邊長為156.75±0.25mm,厚度為200±20,單個微晶小于3×3mm2,整個微晶區域小于3×3cm2;
氧含量≤8.0×1017atoms/cm3,碳含量≤6.0×10 17atoms/cm3,電阻率1~3Ω·cm,少子壽命≥1.0。
2.如權利要求1所述的太陽能級硅片,其特征在于,所述溝槽(1)設于所述太陽能級硅片的上表面(2)和下表面(3)。
3.如權利要求1-2中任一所述的太陽能級硅片,其特征在于,所述太陽能級硅片為矩形,所述矩形的四個角處設倒角(4),
所述倒角(4)為直線倒角或圓弧倒角;
所述直線倒角的度數為30°-45°,尺寸為0.5-2mm。
4.一種太陽能級硅片的生產方法,包括如下步驟:使用金屬絲對硅料進行切割,獲得權利要求1-3中任一所述的太陽能級硅片;
其中,所述切割時,所述金屬絲進行往返切割,回線率為70-97%。
5.如權利要求4所述的生產方法,其特征在于:所述金屬絲為金剛線,
所述金剛線外徑為65-75,
所述金剛線的金剛石顆粒粒徑為6-10。
6.如權利要求4或5所述的生產方法,其特征在于:所述切割的線速為1000-1400m/min。
7.如權利要求4或5所述的生產方法,其特征在于:所述金屬絲的張力為8-14牛頓;切割冷卻液的溫度為20-30℃;冷卻水流量為100-150L/min。
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