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[發明專利]一種隔振平臺在審

專利信息
申請號: 201810230069.1 申請日: 2018-03-20
公開(公告)號: CN108386480A 公開(公告)日: 2018-08-10
發明(設計)人: 陳新;魏棵榕;尹自強;劉強;張國根;林劍;張霞峰;郭亞文;游杰;周富林;孔德坤 申請(專利權)人: 廣東工業大學
主分類號: F16F15/023 分類號: F16F15/023
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 張春水;唐京橋
地址: 510060 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 隔振平臺 多孔材料構件 工作平臺 隔振效果 隔振裝置 隔振 氣浮 支架 申請 微觀 隔振技術 隔振控制 隔振元件 厚度可調 接觸連接 精密儀器 宏觀 背離
【權利要求書】:

1.一種隔振平臺,其特征在于,包括:依次接觸連接的支架、基座和工作平臺,所述工作平臺背離所述基座的一側用于放置精密儀器;所述支架和所述基座之間設有用于宏觀隔振的氣浮隔振裝置,所述工作平臺和所述基座之間設有用于微觀隔振的多孔材料構件,所述多孔材料構件的厚度可調。

2.根據權利要求1所述的隔振平臺,其特征在于,還包括:氣路系統,所述氣路系統包括氣管和氣孔閥,所述氣控閥連接氣源;

所述氣管連接所述多孔材料構件和/或所述氣浮隔振裝置。

3.根據權利要求1所述的隔振平臺,其特征在于,所述工作平臺上設有用于安裝所述氣管的氣管通道。

4.根據權利要求1所述的隔振平臺,其特征在于,所述工作平臺與所述基座的接觸面設有至少一個第一凹槽,所述多孔材料構件設于所述第一凹槽中。

5.根據權利要求4所述的隔振平臺,其特征在于,所述第一凹槽呈環形、條形、圓形或多邊形。

6.根據權利要求1所述的隔振平臺,其特征在于,所述工作平臺與所述基座的接觸面的中心設有凸起,所述基座上設有與之配合連接的第二凹槽。

7.根據權利要求1所述的隔振平臺,其特征在于,所述工作平臺上設有用于連接所述精密儀器的安裝部。

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