[發明專利]一種基于DSP的動鏡五自由度在線調整控制系統有效
| 申請號: | 201810228662.2 | 申請日: | 2018-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN108459471B | 公開(公告)日: | 2020-04-10 |
| 發明(設計)人: | 陳磊;王建;徐文祥 | 申請(專利權)人: | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 610209 *** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 dsp 動鏡五 自由度 在線 調整 控制系統 | ||
1.一種基于DSP的動鏡五自由度在線調整控制系統,其特征在于,該系統包括與上位機進行通訊的通訊接口部分、數據解析部分、動鏡五自由度運動控制部分及動鏡五自由度位置檢測部分;
所述的通訊接口部分采用以太網接口及標準TCP/IP協議實現與上位機的信息交互,其功能包括接收上位機發送的指令和數據以及向上位發送控制系統的狀態數據;
所述的數據解析部分實現對上位機的數據進行分析和解析,并完成坐標變換、數據判斷運算;
所述的動鏡五自由度運動控制部分,包括動鏡運動控制模塊、五路驅動放大電路;動鏡運動控制模塊與五路驅動放大電路之間通過輸入輸出接口進行連接,五路驅動放大電路分別連接五個壓電陶瓷直線作動器,作用于動鏡五自由度在線調整裝置,實現動鏡在水平X向、水平Y向、垂直Z向、俯仰θy及偏擺θx的五自由度在線調整;
所述的動鏡五自由度位置檢測部分,包括動鏡位置檢測模塊、五路濾波A/D轉換電路;動鏡位置檢測模塊與五路濾波A/D轉換電路之間通過輸入輸出接口進行連接,五路濾波A/D轉換電路分別連接位于動鏡五自由度在線調整裝置中的五個電容式位置傳感器,實現對動鏡在水平X向、水平Y向、垂直Z向、俯仰θy及偏擺θx的五自由度在線檢測。
2.如權利要求1所述的基于DSP的動鏡五自由度在線調整控制系統,其特征在于,整個控制流程包括以下步驟:
1)五自由度動鏡在線調整控制系統通過通訊接口接收到上位機發送的數據和指令;
2)接收到的數據和指令進入數據解析模塊進行分析和運算,通過坐標轉換算法,得到上位機設定的動鏡五自由度目標位置并加以判斷,若目標位置在合理范圍內,則啟動動鏡五自由度調整,否則返回狀態碼到上位機;
3)動鏡五自由度運動控制部分接收到合理的動鏡五自由度目標位置,通過輸入輸出接口,將動鏡五自由度目標位置傳遞到五路驅動放大電路,驅動放大電路將位置信號轉化為模擬的電壓信號,驅動位于動鏡五自由度在線調整裝置中的五個壓電陶瓷直線作動器,實現動鏡在水平X向、水平Y向、垂直Z向、俯仰θy及偏擺θx五自由度在線調整;同時,通過動鏡五自由度位置檢測部分,獲得位于動鏡五自由度在線調整裝置中的五個電容式位置傳感器的值,用于判斷五自由度調整是否結束并返回狀態碼到上位機。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院光電技術研究所,未經中國科學院光電技術研究所許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810228662.2/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種減少硅片插裝誤差的光刻機取片裝置
- 下一篇:一種可調節的光路校正實驗裝置





